原廠ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
2024-09-02
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ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態(tài)確認等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環(huán)境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設備
具有映射功能的自動平臺類型
我們的產品陣容包括 的便攜式，自動式和對應真空環(huán)境的設備內置式類型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通過自動R-θstage和自動對焦功能，快速自動測量整個樣品表面的膜厚，并通過彩色地圖顯示膜厚分布。
特點
高速測定：
的快照方法可實現高達20 ms的高速測量。適用于可見光譜：
波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護。豐富的產品陣容：
產品陣容應用廣泛，包括如 的便攜類型，手動/自動平臺類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內置類型。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數的測量
規(guī)格
| 型號 | 1500年 | 2000年 | 3000A | |
| 波長范圍 | 530～750nm、380～760nm（選擇） | |||
| 點直徑 | Φ1mm、Φ0.3mm（選擇） | |||
| 入射角度 | 70o固定 | |||
| 膜厚再現性 | 1σ = 0.1納米 | |||
| 膜厚范圍 | 1納米～2微米 | |||
| 測量時間 | 光接收：20ms至3000ms計算：300ms | |||
| 平臺 | Φ150mm自動 | Φ200mm自動 | Φ300mm自動 | |
| 自動測量 | 200點 | 200點 | 2,000點 | |
| 控制PC | 筆記本類型（帶操作/分析軟件） | |||
| 機器構成 | 測量本體、控制器、操作PC（筆記本型）、使用說明書（CD） | |||
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