設(shè)備配置

反射涂層厚度監(jiān)測(cè)儀是一種光學(xué)干涉反射光譜涂層測(cè)厚儀，它使用微型反射探頭，可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室級(jí)別到生產(chǎn)過(guò)程中的在線檢查的所有情況。 它具有出色的可維護(hù)性，可用于集成到工藝設(shè)備和生產(chǎn)線管理應(yīng)用中。
最多可同時(shí)測(cè)量 9 種類(lèi)型的透明膜。
它具有出色的可維護(hù)性，可用作工藝設(shè)備或生產(chǎn)線管理應(yīng)用的集成。
例如，在沉積、拋光和蝕刻過(guò)程中，它可以用作在線監(jiān)視器或終點(diǎn)監(jiān)視器（終點(diǎn)檢測(cè)傳感器），從而實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的實(shí)時(shí)監(jiān)控（實(shí)時(shí)監(jiān)控）。
它還可用于評(píng)估多晶硅的結(jié)晶度和多孔薄膜的密度。