特點：
★ 真空度讀顯功能，集成化一體設(shè)計
★ 結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，便于放置搬運
★ 系統(tǒng)內(nèi)置破空電磁閥
★ 極限真空度10-8mbar
★ 即插即用式設(shè)計可實現(xiàn)簡單的一鍵式操作
用途：
分子泵組主要用于真空鍍膜、半導體、電子、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、物理化學實驗室，電真空器件制造及真空的各個領(lǐng)域?？膳浜辖湹恼婵仗结樑_、真空封管機等需要真空環(huán)境的設(shè)備一同使用。
分子泵組產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)：
型號 | TP22-90 |
控制方式 | 一鍵啟動 |
分子泵 | TURBOVAC 90i |
分子泵抽速 | 90L/S |
前級泵 | 雙極旋片油泵（可選：浮動式渦旋干泵1.2m3/h） |
前級泵抽速 | 2m3/h |
復合真空計 | PTR90(大氣至5*10-7Pa) |
極限真空度 | 10-8Pa |
抽氣接口 | KF40(可選KF25、KF16) |
冷卻方式 | 風冷 |
系統(tǒng)漏率 | 1*10-10Pa.m3/s |
電源 | 220V 50HZ |
外形尺寸 | 400*340*260（長*高*深）（單位mm） |
重量 | 18kg |
儀器使用維護與故障診斷
在安裝、操作儀器時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發(fā)生故障或異常異音。
儀器的使用和維護
n儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。
n儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。
n使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干凈，以免灰塵將機械精密部件、光學部件、電學接觸面污染，導致儀器精度降低。
n儀器機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可，不可用硬物接觸機器，以免發(fā)生故障或危險。
n儀器顯示器部件清潔時，可用鏡頭紙蘸不含水酒精從中間向外輕輕的擦拭。不含水酒精是易燃物，注意使用安全。
n停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。
n操作人員必須嚴格按要求操作，以保證數(shù)據(jù)的準確和儀器的正常使用。
常見故障的排除
當您使用本儀器時，可能會碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
打開總開關(guān)顯示器無顯示 | 外接電源無電壓輸入 電源開關(guān)損壞 | 檢查電源線 更換電源開關(guān) |
真空度不好 | 真空泵受損 | 檢查真空泵 |
系統(tǒng)存在泄露 | 檢查系統(tǒng)漏點，更換配件 | |
真空計被污染 | 關(guān)閉系統(tǒng)，聯(lián)系廠家維修 | |
管路或腔體被污染 | 清潔管路或腔內(nèi)表面 | |
按下按鍵無效 | 操作不當，系統(tǒng)內(nèi)部存在安全聯(lián)鎖 | 檢查操作是否有誤 |
按鍵損壞或線松動 | 檢查線路是否松動，按鍵是否損壞，并聯(lián)系廠家售后 | |
前級泵異響 | 破空閥門未關(guān)閉 | 檢查破真空電磁閥是否關(guān)閉 |
機械泵已損壞 | 關(guān)閉系統(tǒng)，聯(lián)系廠家維修 | |
分子泵異響 | 泵體內(nèi)部存在異物 | 關(guān)閉系統(tǒng)電源，分子泵從處于停止狀態(tài)，拆開法蘭取出異物；檢查受損狀況，聯(lián)系廠家 |
分子泵軸承損壞 | 關(guān)閉系統(tǒng)，聯(lián)系廠家 |
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