小型臺式無掩膜光刻機- MA1200
小型臺式無掩膜光刻機- MicroWriter ML3是英國公司專為實驗室設(shè)計開發(fā)，為微流控、SAW、半導體、自旋電子學等研究領(lǐng)域提供方便高效的微加工方案。
傳統(tǒng)的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業(yè)供應商提供，但是在研發(fā)環(huán)境中，掩膜板的設(shè)計通常需要經(jīng)常改變。無掩膜光刻技術(shù)通過以軟件設(shè)計電子掩膜板的方法，克服了這一問題。與通過物理掩膜板進行光照的傳統(tǒng)工藝不同，激光直寫是通過電腦控制一系列激光脈沖的開關(guān)，在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。
MA1200 是一款多功能激光直寫光刻系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)小巧緊湊(70cm x 70cm x 70cm)，無掩膜直寫系統(tǒng)的靈活性，還擁有高直寫速度，高分辨率的特點。采用集成化設(shè)計，全自動控制，可靠性高，操作簡便。適用于各種實驗室桌面。
產(chǎn)品特點
Focus Lock自動對焦功能 | 光學輪廓儀 |
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標記物自動識別 | 直寫前預檢查 |
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簡單的直寫軟件 | Clewin 掩膜圖形設(shè)計軟件 |
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