LT-I 系列干涉測厚傳感器是無錫泓川科技有限公司推出的高精度非接觸式測厚設(shè)備，基于白光干涉原理，專為薄膜、涂層厚度測量設(shè)計，具備納米級精度、超快采樣速度及寬范圍適應(yīng)性，適用于半導(dǎo)體、新能源、光學(xué)薄膜等高duan制造領(lǐng)域。泓川科技國產(chǎn)納米級白光干涉測厚儀
超高精度
超快速度與寬范圍
環(huán)境適應(yīng)性強
光源技術(shù)升級
利用白光干涉現(xiàn)象：
光源發(fā)射：白色點光譜經(jīng)干涉探頭照射到樣品表面，薄膜上下表面反射光（反射光 1、反射光 2）產(chǎn)生相位差，形成彩色干涉條紋。
信號解析：通過解析干涉條紋的相位差與光程差關(guān)系，計算薄膜厚度（厚度與相位差直接相關(guān)）。
非接觸測量：無需接觸樣品，通過光譜信號處理實時獲取厚度值。
| 型號 | LT-IVS-100 | LT-IVS-100W | LT-IVS-50 | LT-IVS-50W |
|---|
| 適配探頭 | IVP-T50（聚焦光點，Φ100μm） | IVP-T10-UV-VIS（彌散光斑，10mm 距離時 Φ4mm） | IVP-T50 | IVP-T10-UV-VIS |
| 參考距離 | 50mm | 非聚焦探頭 | 50mm | 非聚焦探頭 |
| 測量范圍 | ±2mm（厚度：2μm~100μm，折射率 1.5 時） | 建議安裝距離 5-10mm（厚度：1μm~50μm，折射率 1.5 時） | ±2mm | 建議安裝距離 5-10mm |
| 精度指標(biāo) | 重復(fù)精度 1nm，線性誤差 ±20nm | 重復(fù)精度 1nm，線性誤差 ±20nm | 重復(fù)精度 1nm，線性誤差 ±20nm | 重復(fù)精度 1nm，線性誤差 ±20nm |
| 測量角度 | ±3° | ±10° | ±3° | ±10° |
| 采樣頻率 | 最高 10kHz | 最高 10kHz | 最高 10kHz | 最高 10kHz |
| 探頭規(guī)格 | Φ30×58mm，90g，IP40 防護 | Φ6.35×65mm，輕量化設(shè)計 | Φ30×58mm，90g，IP40 防護 | Φ6.35×65mm，輕量化設(shè)計 |
| 接口 | Ethernet（100BASE-TX）、USB2.0、RS-485（Modbus 協(xié)議） | 同左 | 同左 | 同左 |
| 電源 | 24VDC±10%，電流 0.4A | 同左 | 同左 | 同左 |
| 工作環(huán)境 | 溫度 0~50℃，濕度 20~85% RH（無冷凝） | 同左 | 同左 | 同左 |
電子行業(yè)：觸摸屏 ITO 膜厚測量、UTG 超薄柔性玻璃厚度檢測。
新能源：鋰電隔膜厚度在線監(jiān)測、光伏薄膜均勻性檢測。
材料科學(xué)：PET 多層膜材厚度分層測量、光學(xué)涂層厚度控制。
精密制造：半導(dǎo)體晶圓薄膜沉積厚度監(jiān)控、微納結(jié)構(gòu)表面形貌分析。
軟件與開發(fā)：
硬件適配：
緊湊輕量化：最小探頭直徑僅 6.35mm，適合狹小空間安裝。
光纖設(shè)計：光纖接頭預(yù)留距離 100mm，靜態(tài) / 動態(tài)彎曲半徑分別為 30mm/60mm，提升布線靈活性。
長期穩(wěn)定性：無發(fā)熱探頭結(jié)構(gòu)，避免溫度漂移影響，確保高精度持續(xù)測量。
LT-I 系列干涉測厚傳感器以納米級精度、超快響應(yīng)和高可靠性，成為薄膜厚度測量的理想選擇，廣泛應(yīng)用于高duan制造的質(zhì)量控制與工藝優(yōu)化，助力客戶實現(xiàn)精密測量與生產(chǎn)效率提升。
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