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PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）
V76帶T-Motion的大型傳輸閥/插入件是為滿足太陽能和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)的。V76專為高循環(huán)生產(chǎn)系統(tǒng)而開發(fā)，在大型傳輸閥（≤2秒，150?mm開口高度）。V76的設(shè)計目標是在超過一百萬次循環(huán)的生命周期內(nèi)實現(xiàn)高正常運行時間和可靠運行。
V76使用的T-Motion技術(shù)基于模塊化平臺概念，并針對關(guān)鍵的太陽能和顯示應(yīng)用進行了全面優(yōu)化：
lPECVD/ETCH：對于這些應(yīng)用，V76版本的閥門上提供了一種特殊的服務(wù)功能，允許在真空下傳輸室保持生產(chǎn)模式的同時，保持工藝室的閘門。這一特性尤為重要，因為在PECVD和ETCH工藝中，需要頻繁清潔和更換閘門密封。軟移動、雙作用T型運動機構(gòu)沿整個密封表面提供均勻的密封壓力，減少所需的密封載荷，最大限度地減少密封磨損。這降低了閥門壽命期間的FFKM密封成本。
lOLED/PVD和負載鎖：使用V76的修改版本，使用更大的壓力元件，可以施加全壓差。該版本提供OLED的“超清潔”配置，并為PVD和負載鎖定應(yīng)用提供高速選項。
V76系列有帶外殼的標準傳輸閥或直接安裝在工藝室中的插入式版本。
V76系列已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)百個太陽能和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)中，證明了其在各個方面的出色性能。
與所有PRECESS輸送閥解決方案一樣，V76大型輸送閥/帶T-Motion的插入件是根據(jù)客戶的確切規(guī)格量身定制的。這些定制可能包括額外的過程控制單元、特殊的表面處理，如硬質(zhì)陽極氧化鋁或鍍鎳鋁、其他密封材料、檢測閥體壓力的真空計、波紋管保護的軸饋通、閥門和閘門的射頻和直流接地選項、執(zhí)行器的橫向安裝位置等。
特征
l半標準應(yīng)用（半E21-9半E24-92半E21.1-1296）
l通過使用獲得認證的L形運動連桿和執(zhí)行器中沒有彈簧的雙換檔，顯著減少了振動，實現(xiàn)了更快、更平穩(wěn)的執(zhí)行
l機械鎖處于關(guān)閉位置
優(yōu)點
l焊接波紋管執(zhí)行器密封
l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落
l氣動執(zhí)行器雙作用
應(yīng)用
l太陽能、FPD加工
l高運行速度下的低沖擊
l位置3允許在對閥門進行維護工作時保持一個腔室處于真空狀態(tài)
lLCD/平板加工
PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）
技術(shù)參數(shù)
尺寸 | 50 x 500 mm, 100 x 1350 mm, 250 x 3850 mm | |
執(zhí)行器 | 氣動 | 雙作用位置指示器 |
閥體材質(zhì) | 鋁或不銹鋼 | |
饋通 | 軸饋通 | |
標準法蘭 | ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS | |
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-7 mbar l/s |
閥座 | < 1 × 10-7 mbar l/s | |
壓力范圍 | 1 × 10-7 mbar to 1.2 bar | |
壓差 | 閥門：在關(guān)閉方向 | ≤ 1 bar |
插入：在開啟方向 | < 30 mbar | |
At opening | < 3 mbar | |
循環(huán)至first使用 | ≥1000,000 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 120 °C |
閥門 | ≤ 120 °C | |
材質(zhì) | 閥體、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
軸 | AlSI 304 (1.4301) | |
波紋管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 閥帽 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 |
閥門 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 | |
安裝位置 | 執(zhí)行器向上或向下 | |
電磁閥 | 24 VDC PNP | |
位置指示器：觸點額定值 | 電壓 | ≤50 VDC |
電流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
連接器 | 9針微型D | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 10 mm |
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