2025-05-27
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一、簡(jiǎn)要介紹
該真空箱式爐系列用于在1100℃下半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)等工藝，也可用于產(chǎn)品的炭化試驗(yàn)。該爐采用電阻絲加熱，PID程序控溫儀控制，溫控儀可設(shè)定30 段升溫曲線、PID控制參數(shù)自整定、并具有斷偶、超溫報(bào)警保護(hù)等功能。爐體采超輕質(zhì)高鋁纖維材料，具有熱容小、溫度升降控制靈活、節(jié)能等特點(diǎn)，設(shè)備已根據(jù)所需冷態(tài)極限真空≤400Pa集成配備了真空泵及相關(guān)配件。
該設(shè)備為密封式加熱腔體,確保設(shè)備可在真空條件下,或者一些特殊氣氛條件下使用，相比普通箱式爐，使用環(huán)境更靈活，使用范圍更廣泛。
二、技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | LFM1200C 91VC |
額定功率 | 19KW |
額定電壓 | AC 380V 三相 |
最高溫度 | 1200℃ |
額定溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | 10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 模糊 PID 程序控溫（30段程序控溫） |
熱電偶型號(hào) | K 型 |
加熱元件 | 電阻絲 |
設(shè)備重量 | 400KG |
外型尺寸（長(zhǎng)×深×高） | 920*1000*1300mm |
爐膛尺寸（W*D*H） | 450*450*450mm |
爐膛容積 | 91L |
空氣開(kāi)關(guān) | 40A |
冷態(tài)極限真空 | ≤400Pa |
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