POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版

POLOS® SPIN150x是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機(jī)，由PTFE制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。

可以同時實(shí)現(xiàn)臺式（Table top）和嵌入式（In-deck）版本，用于手動或自動（可選）化學(xué)藥劑分配。

適用于涂層、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。

POLOS® SPIN150X旋涂機(jī) PTFE 標(biāo)準(zhǔn)版

腔室規(guī)格：

- 最大支持6英寸（150毫米）晶圓

- 最大支持4英寸×4英寸（100毫米）基板

- 材料： PTFE

硬件規(guī)格：

- 液體過濾器

- 特殊的外殼和排水口設(shè)計(jì)，可在現(xiàn)場切換臺式和內(nèi)嵌式型號

- 用于注射器或分配噴嘴的中心注射座

- 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

- 大型（可拆卸）觸摸顯示屏

- USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新

- 3 個輸入/輸出端口

驅(qū)動裝置規(guī)格：

- 間接無刷驅(qū)動裝置

- 最高 12,000 RPM（取決于基體/卡盤）

- 高加速度和高精度

- 加速/減速 1-30,000 RPM

- CW、CCW旋轉(zhuǎn)和Puddle選項(xiàng)

隨附旋涂儀卡盤和適配器

- 隨附1個A-V36-S45-PTFE-HD真空卡盤.

- 隨附1個D-V10-S50-PTFE-HD碎片適配器.

- 由FCA SPS-Europe, The Netherlands提供