GVC-3000T高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀全自主支持產(chǎn)權(quán)，效率更高、顆粒更細，膜厚更均勻。
應(yīng)用領(lǐng)域：
1、EDS樣品制備；
2、EBSD樣品制備；
3、MLA系統(tǒng)樣品制備；
4、其它需要制備碳膜的領(lǐng)域。
高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀技術(shù)參數(shù)：
| 人機界面 | 7英寸TFT彩色液晶觸摸屏 |
| 蒸發(fā)源 | 高純碳纖維（選配碳棒） |
| 蒸發(fā)源數(shù)量 | 1-4根（更多請咨詢廠家） |
| 工作模式 | 連續(xù)、脈沖 |
| 操作方式 | 全自動一鍵操作 |
| 真空系統(tǒng) | 渦輪分子泵+旋片泵 |
| 極限真空 | ≤5E-3Pa |
| 工作真空 | ＜0.1Pa |
| 抽氣節(jié)拍 | ＜3分鐘 |
| 真空室 | ~φ170×130mm |
| 其它 | 樣品臺旋轉(zhuǎn)、樣品溫度檢測、蒸發(fā)除氣等 |
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北京格微儀器有限公司
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