掃描電子顯微鏡技術(shù)性能指標(biāo)：

1        電子光學(xué)：

           1.1   發(fā)射源：鎢燈絲（高性能電子光學(xué)鏡筒，雙陽極熱發(fā)射電子槍）

           1.2   固定式物鏡光闌，無需手動(dòng)調(diào)整使用方便

           1.3   加速電壓：200V – 30kV，自動(dòng)256級(jí)偏壓設(shè)計(jì)

           1.4   放大倍數(shù)：6× - 1000000×

           1.5   極靴內(nèi)有一路單獨(dú)抽真空系統(tǒng)，保證在低真空和環(huán)境模式下電子槍高真空和不受污染，延長燈絲壽命

           1.6   電子束束流：可達(dá)到的數(shù)值不小于2μA，并連續(xù)可調(diào)

           1.7   使用工廠預(yù)對(duì)中燈絲更換方便

2        真空系統(tǒng)

           2.1   1個(gè)250 l/s分子渦輪泵+1個(gè)機(jī)械泵

           2.2   高真空模式：＜1×10-5 Pa

           2.3   低真空模式：10 – 130 Pa

           2.4   環(huán)境真空模式：10 – 2600 Pa     

           2.5   高真空模式下的換樣時(shí)間：≤150秒

           2.6   低真空及環(huán)境真空模式下的換樣時(shí)間：≤270秒

3        分辨率

           3.1   高真空模式下的分辨率

                    3.1.1   30 kV下3.0 nm (二次電子)

                    3.1.2   30 kV下4.0 nm (背散射電子)

                    3.1.3   3 kV下8.0 nm (二次電子)

        3.2   環(huán)境真空模式下的分辨率（以英文樣本公布的參數(shù)為準(zhǔn)，并作為驗(yàn)收指標(biāo)）

                    3.2.1    30 kV下3.0 nm (二次電子)

                    3.2.2    具備獨(dú)立的環(huán)境真空/超低真空模式二次電子探頭

4        樣品室

           4.1   樣品室內(nèi)徑：不小于340 mm

           4.2   分析工作距離：10 mm

           4.3   樣品室紅外CCD相機(jī)：1個(gè)

           4.4   多可升級(jí)8個(gè)探測器或附件接口         

5        樣品臺(tái)

           5.1   類型：五軸馬達(dá)臺(tái)，全對(duì)中，同時(shí)保留五軸手動(dòng)功能

           5.2   行程：X≥110 mm，Y≥110 mm，（X/Y重復(fù)精度2μm）Z≥65 mm，旋轉(zhuǎn)R=n×360o，傾斜T=-15o/+90o

           5.3   樣品尺寸：可沿 X、 Y 軸*旋轉(zhuǎn)時(shí)直徑≥122 mm，大樣品高度≥85mm

6        圖像處理及系統(tǒng)控制

           6.1   *的6144×4096像素，可保存TIFF/BMP/JPEG格式

           6.2   單窗口或四窗口圖像顯示, 四活動(dòng)窗口智能掃描技術(shù)

           6.3   實(shí)時(shí)或靜態(tài)信號(hào)按彩色或按灰度等級(jí)混合, 256 幀平均或積分, 數(shù)字動(dòng)畫記錄 (.avi格式), 直方圖及圖像測量軟件

                 6.4   SmartSCAN™ 智能掃描技術(shù),蒙太奇圖像導(dǎo)航,

7        節(jié)能措施

           7.1   Energy Star認(rèn)證的顯示器和工作站

           7.2  無需冷卻水和空壓機(jī)

8    掃描電子顯微鏡軟硬件配置系統(tǒng)

     8.1  深圳市天禧儀器自定義軟件系統(tǒng)

     8.2  深圳市天禧儀器離子濺射儀

9        技術(shù)服務(wù)

9.1     提供該儀器的質(zhì)量檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)和驗(yàn)收方法

9.2     整機(jī)含第1年的免費(fèi)保修服務(wù)，包含零配件和工時(shí)

9.3     安裝調(diào)試與終驗(yàn)收賣方應(yīng)派專家到用戶場地進(jìn)行安裝調(diào)試，對(duì)用戶操作人員現(xiàn)場進(jìn)行使用和維護(hù)培訓(xùn)，培訓(xùn)和安裝的時(shí)間不少于2天，內(nèi)容包括儀器的原理、使用、日常維護(hù)及現(xiàn)場操作。