真空應用流量控制器的特征如下：與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準MFC實現(xiàn)端對端的匹配連接。

MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現(xiàn)污染情況。

多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。

連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業(yè)網絡中。

真空應用流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。

任何天氣條件下均可準確完成空氣流量校準

簡單升級老化的熱式流量控制器

性能

可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）

可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）

標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）

高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）

可重復性：0.2%滿量程

標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節(jié)功能，可縮短至25ms）

氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦氣）

無需預熱時間

工作條件

兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

工作溫度：-10°C至+60°C

大內部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

耐受壓力：175 psig（190 psia）

STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

Alicat產品采用層流差壓式原理，擁有LFE技術，憑借航天級水準，長期支持美國航天局(NASA)、SpaceX探空火箭項目，并為科研及工業(yè)領域提供快捷、穩(wěn)定的技術解決方案。

產品類型：氣體或液體質量流量計、質量流量控制器、壓力計、壓力控制器。

客戶行業(yè)：實驗科研、環(huán)境保護、生物醫(yī)藥、過程控制、能源化工、半導體電子以及相關的公共事業(yè)。

應用領域：計量檢測、泄漏測試、生物發(fā)酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。