| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 8千-1.5萬 | 應用領域 | 生物產業(yè),電子/電池,包裝/造紙/印刷,鋼鐵/金屬,航空航天 |
結構特點
三軸精密運動臺為直驅緊湊式結構，XY軸三片疊層的方式，有效地降低工作點的高度，Z軸采用低摩擦氣缸配重，可以抵消負載的重力，從而降低電機持續(xù)推力的要求，減小運動臺發(fā)熱量，斷使能負載不會受重力影響而向下脫落。抗蠕動交叉滾柱導軌，滾柱交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。
精度性能
RBN-XYZ軸電子分辨率0.3nm或5nm選配，定位精度±50nm，雙向重復定位精度±10nm，直線度和平面度±0.75μm以內，是高精度場所的理想選擇。
微動步距
對有微動步距（最小位移量）要求的應用領域，如最小步距運動、對準應用等，微動步距≤2nm，對現場使用環(huán)境的要求，更多細節(jié)可聯系瑞邦精控。
定制化
可定制用于10^-7Torr真空環(huán)境下的版本；定制MAX加速度；可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運動控制方案。
規(guī)格指標
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優(yōu)于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
3. 空載條件下的精度指標，MAX速度和加速度取決于負載大小。
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