日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU7000采用全新設(shè)計的探測器，使得對二次電子信號、背散射電子信號的檢測以及分離能力大大提升。以前我們要根據(jù)獲得的信號來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離（工作距離／以下簡稱WD），以設(shè)置佳的觀察與分析條件，而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng)，可在不改變WD的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時間，提高了測試效率。而且，SU7000還配置了可同時6通道顯示界面（前代機(jī)型只能同時顯示4通道），進(jìn)一步升級SEM控制系統(tǒng)，大幅提高了信號獲取速度，由此實現(xiàn)了樣品的高通量觀察。它還標(biāo)配超大樣品倉，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析。

日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU7000創(chuàng)新點(diǎn)：

1. SU7000配置了可同時6通道顯示界面（前代機(jī)型只能同時顯示4通道），進(jìn)一步升級SEM控制系統(tǒng)，大幅提高了信號獲取速度，由此實現(xiàn)了樣品的高通量觀察。

2. 標(biāo)配超大樣品倉，增設(shè)了附件接口，可適用于各種樣品的觀察與分析；

3. SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng)，可在不改變工作距離的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時間，提高了測試效率。

主要特點(diǎn)：

1．在相同WD的條件下，可同時實現(xiàn)二次電子、背散射電子觀察與X射線熒光分析　

2．可同時實現(xiàn)6通道檢測與顯示

3．在 大像素10240 x 7680時，也可獲得圖像數(shù)據(jù)

4．同級別*設(shè)備中 多的可配置18個附件接口5．支持低至300Pa的低真空模式（選配）；*空間分辨率在1 nm/1 kV以下