型號(hào)：BA-GHX1新型多元催化光解箱光化學(xué)反應(yīng)容器分解水的吸光陽極材料

新型多元催化光解箱
 

　　光化學(xué)反應(yīng)是指由一個(gè)原子、分子、自由基或離子吸收一個(gè)光子所引發(fā)的化學(xué)反應(yīng)。常用的光化學(xué)反應(yīng)都是利用波長為400納米之下，800納米之上的光波來進(jìn)行，也即作為不可見光的紫外線和紅外線。

　　[0003]氧化銦錫(ΙΤ0)是一種透明導(dǎo)電氧化物半導(dǎo)體材料，具有穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)，透光性優(yōu)良、導(dǎo)電能力良好，在太陽能電池、平板顯示、防霜玻璃、節(jié)能建筑窗、航空領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。

　　[0004]ITO膜在LED外延片上作為透明導(dǎo)電膜的角色，ITO表面的粗糙度對于亮度的提升有明顯的幫助。為了實(shí)現(xiàn)該粗糙度，傳統(tǒng)上需要上光阻后蝕刻ΙΤ0，需要經(jīng)過溫度為100°C至600°C的高含量氧氣> lOOsccm)的熱處理后，ITO表面會(huì)局部聚積成氧化銦及氧化錫的子顆粒，然后與相應(yīng)的溶劑對氧化銦或/及氧化錫進(jìn)行蝕刻，以達(dá)到粗糙的程度。

　　[0005]高溫的加熱除了耗能之外，還常常伴隨著加熱后原液揮發(fā)后對身體的危害，不能滿足現(xiàn)代企業(yè)對環(huán)保生產(chǎn)的要求，降低了企業(yè)的競爭力。

　　【實(shí)用新型內(nèi)容】

　　[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種光化學(xué)反應(yīng)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)不需要加熱而利用可見光LED進(jìn)行蝕刻、沈積處理，達(dá)到節(jié)能、環(huán)保、純凈的效果，對人體無害。

　　[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:一種光化學(xué)反應(yīng)系統(tǒng)，包括LED光化學(xué)引擎、化學(xué)反應(yīng)容器、控制單元、反應(yīng)傳感器和反應(yīng)單元，該控制單元與所述LED光化學(xué)引擎、化學(xué)反應(yīng)容器、反應(yīng)傳感器電性連接，并通過控制單元控制所述LED光化學(xué)引擎的啟停和調(diào)節(jié)、以及控制所述反應(yīng)單元在所述化學(xué)反應(yīng)容器的流通，通過所述反應(yīng)傳感器對所述化學(xué)反應(yīng)容器內(nèi)的蝕刻、沈積程度向所述控制單元進(jìn)行反饋;所述反應(yīng)單元至少包括反應(yīng)子浸泡在所述第二反應(yīng)子中。

　　[0008]上述技術(shù)方案中，所述反應(yīng)傳感器以所應(yīng)子或第二反應(yīng)子作為對象，通過電子顯微鏡、質(zhì)譜儀或光接發(fā)器作為途徑，向所述控制單元進(jìn)行蝕刻、沈積程度的反饋;并且所述反應(yīng)傳感器設(shè)置于所述化學(xué)反應(yīng)容器之外或之內(nèi)。

　　[0009]上述技術(shù)方案中，所述化學(xué)反應(yīng)容器還連通有輸送管道，該輸送管道與多個(gè)反應(yīng)子容器連通。

　　[0010]上述技術(shù)方案中，所述LED光化學(xué)引擎所使用的光波波長為400納米至800納米。

　　[0011]上述技術(shù)方案中，所述第二反應(yīng)子為酸液，為草酸或磷酸。

光化學(xué)反應(yīng)容器分解水的吸光陽極材料

一種光化學(xué)反應(yīng)系統(tǒng)，包括LED光化學(xué)引擎1、化學(xué)反應(yīng)容器2、控制單元、反應(yīng)傳感器和反應(yīng)單元，該控制單元與所述LED光化學(xué)引擎1、化學(xué)反應(yīng)容器2、反應(yīng)傳感器電性連接，并通過控制單元控制所述LED光化學(xué)引擎I的啟停和調(diào)節(jié)、以及控制所述反應(yīng)單元在所述化學(xué)反應(yīng)容器2的流通，通過所述反應(yīng)傳感器對所述化學(xué)反應(yīng)容器2內(nèi)的蝕刻、沈積程度向所述控制單元進(jìn)行反饋;所述反應(yīng)單元至少包括應(yīng)子3所浸泡到的部分。

　　[0018]其中，化學(xué)反應(yīng)容器2可以是化學(xué)反應(yīng)槽、化學(xué)反應(yīng)室或化學(xué)反應(yīng)腔，由于本實(shí)用新型不需要使用高溫加熱，原液不會(huì)發(fā)生揮發(fā)，可以使用化學(xué)反應(yīng)槽，以方便操作。

　　[0019]其中，所述反應(yīng)傳感器以所述子3或第二反應(yīng)子4作為對象，通過電子顯微鏡、質(zhì)譜儀或光接發(fā)器作為途徑，向所述控制單元進(jìn)行蝕刻、沈積程度的反饋;并且所述反應(yīng)傳感器設(shè)置于所述化學(xué)反應(yīng)容器2之外或之內(nèi)。通過電子顯微鏡對基材表面的蝕刻、沈積程度進(jìn)行圖像觀察并反饋給控制單元。通過光接發(fā)器的光發(fā)射器發(fā)射檢測光波到基材的表面，再反射到對應(yīng)的光接收器中，根據(jù)所反射檢測光波的強(qiáng)弱來判斷基材表面的蝕刻程度，形成蝕刻，檢測光波會(huì)在蝕刻、沈積的位置發(fā)生漫反射，使光接收器接收到的檢測光波減弱，以減弱的程度標(biāo)識(shí)為蝕刻、沈積的程度，當(dāng)光接收器接收到的檢測光波減弱。質(zhì)譜儀可以測量應(yīng)子3或第二反應(yīng)子4的成分，傳送到控制單元，并由控制單元分析比較反應(yīng)前的成分?jǐn)?shù)據(jù)，而實(shí)現(xiàn)是否達(dá)到所要求的蝕刻、沈積程度。

光化學(xué)反應(yīng)容器分解水的吸光陽極材料