三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。

工作原理：通過在三個相互垂直的方向上有導向機構(gòu)、測長元件、數(shù)顯裝置，測頭可以以手動或機動方式移動到被測點上，當測頭接觸工件并發(fā)出采點信號時，由控制系統(tǒng)采集當前機床三軸坐標相對于機床原點的坐標值，再由計算機系統(tǒng)對數(shù)據(jù)進行處理，計算出工件的各點（x，y，z）坐標及各項

三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。

工作原理：通過在三個相互垂直的方向上有導向機構(gòu)、測長元件、數(shù)顯裝置，測頭可以以手動或機動方式移動到被測點上，當測頭接觸工件并發(fā)出采點信號時，由控制系統(tǒng)采集當前機床三軸坐標相對于機床原點的坐標值，再由計算機系統(tǒng)對數(shù)據(jù)進行處理，計算出工件的各點（x，y，z）坐標及各項

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• 長度測量系統(tǒng)：如 RENISHAW 開放式光柵尺，分辨率可達 0.1μm，用于精確測量各軸的位移量。

• 測頭系統(tǒng)：包括雷尼紹控制器、測頭、測針等，測頭以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，獲取工件表面的坐標信1。

工作臺：用于放置被測工件，通常采用花崗巖材質(zhì)，具有較強的承載能力和良好的穩(wěn)定性，如高精度（00 級）花崗巖平臺，能保證工件放置的平穩(wěn)性和測量的準確性。

• 導軌：三軸導軌一般采用天然高精密花崗巖，四面全環(huán)抱式矩形結(jié)構(gòu)，配上高精度自潔式預應力氣浮軸承，保證了整體具有相同的熱力學性能，避免熱膨脹系數(shù)不同造成的精度誤差，且軸承受力穩(wěn)定均衡，有利于延長機器硬件壽命1。

• 驅(qū)動系統(tǒng)：常見的有直流伺服系統(tǒng)，通過柔性同步齒形帶傳動裝置等驅(qū)動各軸運動，各軸均有限位和電子控制，傳動快捷、運動性能佳

• 機械系統(tǒng)

• 測量系統(tǒng)

• 控制系統(tǒng)：采用進口的雙計算機三座標專用控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)對測量過程的精確控制和數(shù)據(jù)采集，并具有計算機輔助 3D 誤差修正技術（CAA），保證系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性和高精度。

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• 測量功能：包括尺寸精度測量，可精確測量工件的長度、寬度、高度、直徑等尺寸；定位精度測量，確定工件上各點的準確位置；幾何精度測量，檢測直線度、平面度、垂直度、平行度等幾何形狀誤差；輪廓精度測量，對工件的輪廓曲線或曲面進行測量和評估

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