UK MICRON OPTOELECTRONICS的表面粒子檢測(cè)器系列通過以下技術(shù)實(shí)現(xiàn)電子半導(dǎo)體行業(yè)表面污染的量化監(jiān)測(cè)和控制：

核心技術(shù)原理

界面顆粒再懸浮技術(shù)?：采用界面技術(shù)，通過物理或氣流方式將附著在關(guān)鍵表面的顆粒重新懸浮，便于后續(xù)檢測(cè)。

高精度光學(xué)檢測(cè)：基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理，實(shí)時(shí)捕獲懸浮粒子的散射光信號(hào)，實(shí)現(xiàn)單個(gè)粒子尺寸的精確分析。

關(guān)鍵性能指標(biāo)

分辨率達(dá)0.1微米，支持納米級(jí)顆粒檢測(cè)；

配備靜態(tài)采樣模式，提升測(cè)量精度和穩(wěn)定性；符合ISO-14644-9表面粒子控制標(biāo)準(zhǔn)，滿足半導(dǎo)體制造中對(duì)潔凈度的嚴(yán)苛要求。

行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

減少50%以上的自凈時(shí)間及顆粒數(shù)，縮短PM周期，提升制造效率；

通過實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)表面污染，降低因顆粒導(dǎo)致的良率損失和可靠性風(fēng)險(xiǎn)；

適用于晶圓、光學(xué)元件、精密電路板等對(duì)潔凈度敏感的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。

系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)

支持USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出和軟件升級(jí)，便于與工廠智能管理系統(tǒng)對(duì)接；

采用雙電池?zé)岵灏卧O(shè)計(jì)，適應(yīng)連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境的需求。

該系列設(shè)備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造中的過程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。

傳感器：第七代雙激光窄光檢測(cè)器，壽命>200000次

測(cè)量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；

          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒徑分布誤差：≤±30%

濃度示值誤差：≤±30%

重復(fù)相對(duì)偏差：≤±10%FS

重疊誤差：當(dāng)每立方英尺2,000,000個(gè)粒子時(shí)小于5%

氣體檢測(cè)：可同時(shí)檢測(cè)氣體濃度，支持1-3個(gè)各種類型的氣體傳感器

溫度范圍：-40 ～ 120℃

檢定標(biāo)準(zhǔn)：計(jì)數(shù)報(bào)告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

采樣時(shí)間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

檢測(cè)模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；三種檢測(cè)模式可切換

檢測(cè)方式：定時(shí)檢測(cè)、循環(huán)檢測(cè)可設(shè)置     

報(bào)警方式：自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值

限值報(bào)警：RS485信號(hào)報(bào)警或外接聲光報(bào)警器

法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計(jì)追蹤、電子記錄等

合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921

合 規(guī) 性：符合21 CFR Part 11

通訊接口：RS232、R485、LAN-USB

存儲(chǔ)模式：實(shí)時(shí)存儲(chǔ)、定時(shí)存儲(chǔ)可設(shè)置；可存儲(chǔ)數(shù)據(jù)無限制

打印模式：可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù)

工作溫度：5 ～ 45℃

工作電源：AC 100-240V, 50 Hz/60 Hz

工作濕度：≤90%RH，無冷凝