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MKW-3200 綜合物性測(cè)量系統(tǒng)

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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,快速響應(yīng)客戶需求。同時(shí)上海麥科威在快速擴(kuò)展海外市場(chǎng),并設(shè)立新加坡分公司,輻射東南亞市場(chǎng)。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測(cè)試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結(jié)爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī);  - 探針臺(tái),低溫探針臺(tái),微探針臺(tái);  - 金剛石劃片機(jī); - 球焊機(jī),鍥焊機(jī);  - 磁控濺射鍍膜機(jī);  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學(xué)膜厚儀; -貼片機(jī)-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓?。?等離子清洗機(jī)、去膠機(jī);-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機(jī)、無(wú)掩膜光刻機(jī); - 勻膠機(jī); - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽(yáng)能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機(jī)-離子注入-劃片機(jī)、裂片機(jī)光刻機(jī)(針尖/電子束光刻機(jī)EBL,紫外光刻機(jī),激光直寫光刻機(jī)),鍍膜機(jī)(磁控濺射機(jī),電子束蒸發(fā)機(jī),化學(xué)沉積機(jī),微波等離子沉積機(jī),原子層沉積機(jī)  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術(shù), 安徽格恩半導(dǎo)體, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技, 矽品半導(dǎo)體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),偉創(chuàng)力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽(yáng)能,廣東萬(wàn)和集團(tuán),西安西測(cè)股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來(lái)汽車, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽(yáng)能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料, 珠海珍迎機(jī)電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風(fēng)華技股份, 浙江中能合控股集團(tuán),固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導(dǎo)體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué), 汕頭大學(xué), 南方醫(yī)科大學(xué), 清華大學(xué), 北京大學(xué), 復(fù)旦大學(xué), 西北工業(yè)大學(xué), 南京醫(yī)科大學(xué), 香港中文大學(xué), 香港城市大學(xué), 蘇州大學(xué), 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院, 南京大學(xué)合肥國(guó)家試驗(yàn)室, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院, 華南理工大學(xué),華東師范大學(xué),江南大學(xué),重慶26所, 深圳大學(xué), 南方科技大學(xué), 深圳技術(shù)大學(xué), 理化技術(shù)研究所, 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學(xué), 上海硅酸鹽研究所, 中國(guó)航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體設(shè)備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機(jī),光刻機(jī)

1. 綜合物性測(cè)量系統(tǒng)主機(jī)

基系統(tǒng)應(yīng)包括:14特斯拉的新式電制冷超導(dǎo)磁體、磁體控制系統(tǒng)及溫度控制系統(tǒng)、低溫杜瓦、底部帶有12針腳樣品插座的≥25.4mm內(nèi)徑樣品腔、樣品操作桿、樣品初連線檢測(cè)臺(tái)、高真空系統(tǒng)、磁屏蔽系統(tǒng)、Windows 操作系統(tǒng)下的控制軟件而非基于LabVIEW的通用軟件,自動(dòng)化程度高,能通過(guò)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程診斷和測(cè)量實(shí)時(shí)監(jiān)控。采用脈管式制冷機(jī)冷卻,可實(shí)現(xiàn)啟動(dòng)和運(yùn)行只需氦氣,擺脫液氦依賴。

1.1 溫度控制系統(tǒng)

1.1.1 溫度范圍:1.9K - 400K 連續(xù)變溫;

1.1.2 降溫時(shí)間:從300K降至1.9K ≤ 45min(典型值);

1.1.3 溫度穩(wěn)定性:±0.1% (T < 20K);±0.02% (T > 20K)(典型值);

1.1.4控溫模式:連續(xù)低溫控制和溫度掃描模式;

1.1.5 液氦消耗:無(wú)需灌裝液氦或液氮,通過(guò)制冷機(jī)直接液化少量氦氣對(duì)樣品進(jìn)行控溫;

1.1.6 初次啟動(dòng)時(shí)間(典型值):≤40小時(shí)(12T、14T);

1.2 磁場(chǎng)控制系統(tǒng)

1.2.1 縱向磁體, 磁場(chǎng)強(qiáng)度:±14T (使用水冷式脈沖管式制冷機(jī)直接傳導(dǎo)制冷);

1.2.2 場(chǎng)均勻性:0.1% (5.5 cm軸向范圍內(nèi));

1.2.3 掃描速度:0.2-100 Oe/sec;

1.2.4 從零場(chǎng)加至滿場(chǎng)所需時(shí)間:<30分鐘;

1.2.5 多種磁場(chǎng)逼近模式:線性加場(chǎng)、振蕩加場(chǎng)、非過(guò)沖式加場(chǎng)

線性模式下,磁體磁場(chǎng)通過(guò)設(shè)定加場(chǎng)速率快速加場(chǎng)迅速接近設(shè)定磁場(chǎng)。振蕩模式下,磁體磁場(chǎng)通過(guò)振蕩衰減至設(shè)定磁場(chǎng)。

非過(guò)沖模式下,磁體磁場(chǎng)在不超過(guò)設(shè)定磁場(chǎng)的前提下,逐漸逼近設(shè)定磁場(chǎng)。

1.3 樣品腔

1.3.1 凈內(nèi)徑要求不小于25.4 mm(1英寸);

1.3.2 腔底能通過(guò)插座與樣品托進(jìn)行傳熱和引線連接,提供至少12個(gè)針腳引線;

1.3.3 能夠在樣品放入樣品腔之前,腔外檢測(cè)各種測(cè)量模式樣品引線的導(dǎo)通質(zhì)量;

1.4 系統(tǒng)操作軟件

1.4.1 基于Windows專用控制軟件,而非基于LabVIEW的普通通用軟件;

1.4.2 能方便售后工程師通過(guò)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程診斷和測(cè)量實(shí)時(shí)監(jiān)控;

1.5 制冷杜瓦

1.5.1 從安裝啟動(dòng)到日常運(yùn)行都不需要灌裝液氦,初次啟動(dòng)消耗<1/4瓶氦氣(40L標(biāo)準(zhǔn)鋼瓶@15Mpa);

1.5.2 采用高效穩(wěn)定的水冷型壓縮機(jī)的4K脈沖管制冷機(jī),脈沖管制冷機(jī)空載富余冷量0.5W@4.3K;

1.6 內(nèi)置高真空

1.6.1 樣品腔環(huán)境能提供低于10-4托的高真空環(huán)境,可兼容比熱測(cè)量、熱輸運(yùn)測(cè)量、極低溫輸運(yùn)測(cè)量、高溫磁測(cè)量所需高真空熱屏蔽;

1.6.2 真空度:<10-4 Torr;

1.6.3 活化時(shí)間:≤5分鐘;

1.6.4 活化后冷卻時(shí)間:≤30分。

2. 振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)選件

2.1 能夠?qū)Υ判詷悠愤M(jìn)行高精度的直流磁化強(qiáng)度測(cè)量;

2.2 測(cè)量溫度范圍: 1.9K-400K

2.3 靈敏度(1秒數(shù)據(jù)平均):<1*10-6 emu;

2.4 噪音基(RMS): 6×10-7 emu @300K;

2.5 精確度:±0.5%;

2.6 振動(dòng)頻率:10Hz -60 Hz,典型值:40Hz;

2.7 振動(dòng)幅值:0.1mm - 5mm,典型值:2mm;

2.8 線圈內(nèi)徑:≥6 mm;

2.9 可升級(jí)大線圈選件、交流磁化率、1000K高溫磁測(cè)量、光誘導(dǎo)磁測(cè)量等功能選件。

3. 直流電輸運(yùn)選件

3.1 能夠全自動(dòng)測(cè)量電阻率(磁阻)、霍爾系數(shù)和伏安特性;

3.2 輸出電流量程:10 nA - 8 mA;

3.3 最大電壓:4V;

3.4 測(cè)量精度:0.01%(典型值);

3.5 最大測(cè)量電阻:4MΩ;

3.6 使用樣品托方式裝樣,非插桿式;

3.7可同時(shí)用4引線法測(cè)量3個(gè)樣品的直流電阻率,或者同時(shí)測(cè)量1個(gè)樣品的電阻和霍爾效應(yīng)。

4. 霍爾效應(yīng)測(cè)量選件

4.1 靈敏度:≤1μV/100mA;

4.2 載流子遷移率范圍:不少于104 cm2/(V?s)- 0.1 cm2/(V?s);

4.3 電流范圍:1μA-20mA;

4.4 電流測(cè)量范圍:20mA-10nA;

4.5 限定電壓:最大10V。

5. 熱輸運(yùn)測(cè)量選件

5.1 能夠全自動(dòng)測(cè)量電阻率、熱導(dǎo)率、塞貝克系數(shù)、熱電品質(zhì)因數(shù);



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