PRECESS普瑞賽思高真空保護(hù)閘閥（V60系列）

V60高壓閘閥系列配備了VATLOCK技術(shù)，該技術(shù)是專門開發(fā)的，可在閘門密封處提供可靠的密封而不會(huì)產(chǎn)生任何摩擦。VATLOCK機(jī)構(gòu)還可以防止閥門故障，這要?dú)w功于關(guān)閉端位置的機(jī)械鎖定。

憑借其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，V60系列滿足了可靠運(yùn)行的高壓閘閥的所有要求。V60的設(shè)計(jì)可在大量工藝循環(huán)中可靠運(yùn)行，為通用高壓閘閥樹立了標(biāo)準(zhǔn)。

該系列提供各種驅(qū)動(dòng)和法蘭連接設(shè)計(jì)選項(xiàng)，因此可以輕松集成到任何高壓系統(tǒng)中。各種特殊選項(xiàng)，如窗口和端口，可確保與應(yīng)用程序的最佳匹配。

V60高壓閘閥可采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)。閥門可由控制器控制，使閥門可在0.3秒或設(shè)定值內(nèi)關(guān)閉。電磁閥的標(biāo)準(zhǔn)電壓為24V DC，但可根據(jù)要求提供其他電壓。閥門位置由一個(gè)雙位指示器指示——兩個(gè)開關(guān)分別用于“打開”和“關(guān)閉”位置——帶轉(zhuǎn)換觸點(diǎn)。

法蘭連接器的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)是ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS。可以集成客戶定制的帶和不帶水冷的法蘭。

特征

l在干式泵發(fā)生故障時(shí)，保護(hù)工藝環(huán)境免受向下流動(dòng)粉末的影響

l快速氣動(dòng)打開和關(guān)閉小于0.3秒

l帶LCD顯示器的集成或獨(dú)立控制器

l機(jī)械鎖處于關(guān)閉位置

優(yōu)點(diǎn)

lDN63-630，帶FKM O型圈閘門密封

l提供ISO-F CF-F ASA-LP JIS法蘭

應(yīng)用

l半導(dǎo)體加工

l在要求苛刻的工藝中使用真空泵或腔室隔離

l蝕刻、CVD（MO、PE、HDP、LP）注入、濺射

l高顆粒物水平的納米技術(shù)工藝

l薄膜光伏板

PRECESS普瑞賽思高真空保護(hù)閘閥（V60系列）

技術(shù)參數(shù)