MAKEWAY 掃描隧道顯微鏡/NAP-STM
- 公司名稱 上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) MAKEWAY
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/5/4 14:03:31
- 訪問次數(shù) 28
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1000萬-1500萬 |
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儀器種類 | 掃描隧道顯微鏡 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
技術(shù)指標(biāo):
1. 腔體結(jié)構(gòu)
1.1. 配置不銹鋼STM分析腔,配備離子泵、機(jī)械泵、真空規(guī)等泵抽系統(tǒng),背景真空優(yōu)于1*10-9 mbar
1.2配備不銹鋼快速進(jìn)樣室,配備泵抽系統(tǒng),背景真空優(yōu)于5*10-8mbar
2 近常壓變溫掃描頭
2.1 最大掃描范圍不小于1.0 μm x 1.0 μm(T>350K)。
2.2 X/Y方向的補(bǔ)償范圍:≥±750nm;Z方向?yàn)?plusmn;115nm;
*2.3 氣壓工作范圍,不小于UHV-100 mbar
*2.4 溫度控制范圍:UHV條件下,不小于220K-700K,10 mbar壓力下, 不小于RT-500K。
*2.5 低溫下(150 K< T <RT)最大熱漂移速率:<0.05nm/min (垂直方向),<0.15nm/min (水平方向)。
*2.6 掃描頭機(jī)械穩(wěn)定性(針尖固定位置不動(dòng),在恒壓恒流模式下,Z中噪音的峰峰值):< 5 pm。
2.7 配備近常壓進(jìn)氣氣路
2.8配置溫度控制單元和樣品轉(zhuǎn)移機(jī)械手
3 STM控制器
3.1匹配前放增益1V/nA。
3.2隧穿電流范圍:不小于0.01nA–50nA。
*3.3具有快速掃描功能,數(shù)據(jù)獲取速度:不低于1000000像素/秒。
3.4 配備配套軟件和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)一套
4 針尖刻蝕離子源
4.1用于針尖原位處理,離子能量范圍最大:不小于5 keV。
4.2離子束流(Ar氣)最大值:≥ 20 μA。