非接觸式測(cè)厚儀
- 公司名稱 北京昊然偉業(yè)光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/5/17 16:34:40
- 訪問(wèn)次數(shù) 86
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度測(cè)量系統(tǒng)采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。測(cè)量原理:低相干邁克爾遜干涉儀
如圖所示:
Light Source(短相干光源)發(fā)出短相干光束,經(jīng)Beamsplitter分束成兩束光,這兩束光通過(guò)準(zhǔn)直儀聚焦到Measurement arm(測(cè)量臂)和Reference arm(參考臂)上;
在測(cè)量臂段,光束經(jīng)待測(cè)物前后兩表面反射產(chǎn)生兩束反射光;在參考臂段,光束被delay line(延遲線路)中的掃描參考鏡反射。
各反射光束經(jīng)光纖返回到Beamsplitter 中,此時(shí)掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號(hào)經(jīng)探測(cè)器(光電二級(jí)管)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以準(zhǔn)確移動(dòng),當(dāng)干涉儀的測(cè)量臂與參考臂光程相等時(shí),才能夠發(fā)生干涉。這樣通過(guò)監(jiān)控參考鏡的移動(dòng),就可以 測(cè)量被測(cè)鏡的位置。
非接觸式測(cè)厚儀特點(diǎn)
1. 非接觸式、非破壞性;
2. 實(shí)時(shí)在線測(cè)量或離線測(cè)量;
3. 可單次測(cè)量多層膜,最高可測(cè) 20 層;
4. 探針靈活配置,實(shí)現(xiàn)多個(gè)不同目標(biāo)測(cè)量 (最多可配8個(gè)探頭);
5. 測(cè)試速度快(1s)
6. 適用范圍廣
非接觸式測(cè)厚儀性能參數(shù):
型號(hào) | OptiGauge® LT | OptiGauge II | OptiGauge EMS |
測(cè)量范圍(n=1.5) | 12μm to 3.3 mm | 12µm to 12 mm | 12µm to 35 mm |
測(cè)量層數(shù) | 1 | 20 | 20 |
絕對(duì)精度 | ±1μm | ±0.1µm | ±0.1µm |
重復(fù)精度 | 1μm 1σ | 0.1µm 1σ | 0.1µm 1σ |
掃描速率 | 50Hz | 50Hz,100Hz 和200Hz可選 | 20Hz |
光源 | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide |
測(cè)量頭工作距離 | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm |
光纖長(zhǎng)度 | 3m,max 1000m | 3m,max 1000m | 3m,max 1000m |
測(cè)厚儀應(yīng)用領(lǐng)域:
Lumetrics 產(chǎn)品既可以提供獨(dú)立的測(cè)量頭,也可以集成在各種設(shè)備中,廣泛應(yīng)用在以下領(lǐng)域,
1、光電子行業(yè):
2 、薄膜行業(yè):測(cè)量塑料薄膜的厚度
3 、醫(yī)療行業(yè):測(cè)量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙等
4、單件元件厚度控制(特別適用于紅外材料,測(cè)量厚度控制平行度)
5 、平板玻璃厚度測(cè)試:浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測(cè)量