KOFLOC科賦樂 壓力調(diào)節(jié)閥

KOFLOC科賦樂 壓力調(diào)節(jié)閥

具有低壓側(cè)高精度控制的特性
將壓力設(shè)為0.01?0.15MPa，在此條件下對于一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負(fù)荷電阻變化，具有重現(xiàn)性在±1％以內(nèi)的高控制性能。
不使用潤滑油
接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成，不使用任何潤滑油，*適合需要保持純凈狀態(tài)的半導(dǎo)體領(lǐng)域等。
 防松螺母結(jié)構(gòu)
通過防松螺母固定設(shè)定過一次的壓力調(diào)節(jié)位置，可防止設(shè)定發(fā)生變化。
 不滲液型
本產(chǎn)品屬于不滲液型，不會發(fā)生氣體外泄，請您放心使用。

用途
用于氣相色譜儀
用于高純度氣體控制
用于低壓控制設(shè)備
用于半導(dǎo)體領(lǐng)域等

技術(shù)優(yōu)勢

熱式技術(shù)（氣體）：

基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。

低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。

壓差式技術(shù)（液體）：

通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。

耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。

智能功能：

數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造

案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。

配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認(rèn)證（Ex d IIC T6）。

光伏產(chǎn)業(yè)

案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。

挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險。

方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。

化工流程

案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。

材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。