ULVAC（愛(ài)發(fā)科）作為以真空技術(shù)為核心的綜合企業(yè)集團(tuán)，其產(chǎn)品和技術(shù)廣泛應(yīng)用于多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域。以下是主要應(yīng)用場(chǎng)景及對(duì)應(yīng)產(chǎn)品：

?半導(dǎo)體制造?

提供超微細(xì)化技術(shù)設(shè)備，支持下一代半導(dǎo)體的高集成化與低成本制造需求；

LR系列多級(jí)羅茨型干泵專(zhuān)門(mén)用于縮短半導(dǎo)體工藝中的排氣時(shí)間，提升產(chǎn)能；

配套真空部件（如R-7真空泵油）保障設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行8。

?平板顯示（FPD）與光伏（PV）制造?

開(kāi)發(fā)濺射設(shè)備用于顯示器鍍膜工藝，覆蓋金屬、氧化物等材料的精密沉積；

適配FPD/PV生產(chǎn)線(xiàn)的高真空泵（如VDN系列油旋片泵），滿(mǎn)足低噪音、高效率的抽氣需求。

?電子設(shè)備制造?

推出支持高集成化電子產(chǎn)品的制造設(shè)備，涉及精密加工和材料處理技術(shù)；

真空計(jì)（如ST200/SH200系列）用于惡劣環(huán)境下高精度真空測(cè)量，確保工藝穩(wěn)定性。

?通用工業(yè)領(lǐng)域?

真空泵（如VDN301/401）應(yīng)用于鍍膜、干燥、抽氣等場(chǎng)景，適配機(jī)械、汽車(chē)、化工等行業(yè)；

提供真空系統(tǒng)解決方案，涵蓋能源、環(huán)保、生物工程等跨領(lǐng)域需求。