SDX600 KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵
| 參考價(jià) | ￥ 12000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 KASHIYAMA/日本
- 型號 SDX600
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/5/28 14:41:40
- 訪問次數(shù) 26
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主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化上萬種產(chǎn)品的銷售。
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 SDX600
KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 SDX600
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無需任何工作液（如油或水）作為介質(zhì)，依靠機(jī)械結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)抽真空的一類真空獲得設(shè)備。這類泵通過精密配合的機(jī)械部件直接壓縮和排出氣體，解決了傳統(tǒng)油封式或液環(huán)式真空泵存在的介質(zhì)污染問題。干式真空泵的發(fā)展始于20世紀(jì)80年代，隨著半導(dǎo)體、光伏等潔凈工業(yè)的需求而快速進(jìn)步，現(xiàn)已成為高科技制造領(lǐng)域不可替代的關(guān)鍵設(shè)備。
干式真空泵的典型應(yīng)用
（一）半導(dǎo)體制造
晶圓加工：刻蝕、CVD、PVD工藝
離子注入：束線系統(tǒng)真空維持
光刻機(jī)：EUV光源腔體抽真空
（二）平板顯示行業(yè)
OLED蒸鍍：高純真空環(huán)境建立
LCD制造：液晶灌注系統(tǒng)
觸摸屏生產(chǎn)：真空貼合工藝
（三）光伏產(chǎn)業(yè)
太陽能電池：PECVD工藝
薄膜電池：真空鍍膜系統(tǒng)
組件封裝：層壓機(jī)抽真空
（四）科研領(lǐng)域
同步輻射：光束線真空系統(tǒng)
電鏡系統(tǒng)：樣品室抽真空
空間模擬：環(huán)境模擬艙抽氣
（五）其他應(yīng)用
醫(yī)療設(shè)備：質(zhì)子治療加速器
鋰電池制造：極片干燥系統(tǒng)
食品包裝：無菌包裝生產(chǎn)線
| 型號*1 | SDX600型 | SDT600 系列 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
| 最大抽速 [L/min]*2 *6 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
| 極限壓力 [Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
| 電源電壓 （50/60Hz） | 三相 AC200~220V*7 | ||||||||
| N2流速 [SLM] | 0~80 | 0~120 | |||||||
| 冷卻水流量 [L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
| 功耗[kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
| 外形尺寸 [mm]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
| W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
| H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 | ||||
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