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納米級(jí)電容位移傳感器

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上海昊量光電設(shè)備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專(zhuān)業(yè)源自專(zhuān)注  專(zhuān)注成就未來(lái)

自2008年成立以來(lái),昊量光電專(zhuān)注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷(xiāo),致力于引進(jìn)guo外*先進(jìn)性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品,為國(guó)內(nèi)Z前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),助力中國(guó)智造與中國(guó)創(chuàng)造! 目前,昊量光電已經(jīng)與來(lái)自美國(guó)、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、精密光學(xué)元件等,所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國(guó)防等。

昊量光電堅(jiān)持“專(zhuān)業(yè)源自專(zhuān)注,專(zhuān)注成就未來(lái)”的經(jīng)營(yíng)理念。近年來(lái),我們專(zhuān)注于前沿的細(xì)分市場(chǎng),為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進(jìn)激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。

作為一家以技術(shù)溝通與技術(shù)服務(wù)見(jiàn)長(zhǎng)的高科技企業(yè),我們所有的銷(xiāo)售與技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)成員都具有理工科方面的專(zhuān)業(yè)背景,并在公司接受相關(guān)領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)培訓(xùn),在售前技術(shù)溝通、售后產(chǎn)品安裝培訓(xùn)、產(chǎn)品問(wèn)題解決、軟硬件增值服務(wù)等方面為客戶提供更加專(zhuān)業(yè)化的服務(wù)!我們專(zhuān)業(yè)高效的商務(wù)與物流部門(mén)憑借多年積累的貿(mào)易經(jīng)驗(yàn)與規(guī)范化的制度流程,保障每一筆訂貨準(zhǔn)時(shí)安全到達(dá)目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠(chéng)信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價(jià)值觀,昊量光電堅(jiān)持以誠(chéng)信為基石,憑借高效的運(yùn)營(yíng)機(jī)制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價(jià)值,實(shí)現(xiàn)各方共贏!

立足于光電產(chǎn)業(yè),昊量光電始終堅(jiān)持價(jià)值創(chuàng)造與創(chuàng)新,贏得客戶與合作伙伴的認(rèn)可,不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆,立志打造的代理服務(wù)品牌!



激光器調(diào)制器,激光測(cè)量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測(cè)器光子計(jì)數(shù)器,專(zhuān)用實(shí)驗(yàn)設(shè)備,相機(jī)

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

超靈敏,納米級(jí)電容位移傳感器


原理是利用力學(xué)變化使電容器中其中的一個(gè)參數(shù)發(fā)生變化的方法實(shí)現(xiàn)信號(hào)的變化的。電容位移傳感器由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時(shí),電容器的電容量就會(huì)發(fā)生改變,使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁?huì)測(cè)出兩個(gè)傳感板距離的變化。


納米級(jí)電容位移傳感器是非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時(shí),電容器的電容量就會(huì)發(fā)生改變,使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁?huì)測(cè)出兩個(gè)傳感板距離的變化。電容位移傳感器擁有高靈敏度分辨率可由于0.1nm,頻帶寬可達(dá)到10KHz,直線性可到達(dá)0.02%。由于傳感器是一種非接觸式的精密測(cè)量系統(tǒng),因此還擁有無(wú)摩擦,無(wú)遲滯等特點(diǎn)。





電容位移傳感器因具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功耗低、精度高、動(dòng)態(tài)性能好、頻帶寬、高穩(wěn)定性和非接觸測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。


上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電容位移傳感器主要包括以下幾款產(chǎn)品:

①  AU-NX系列電容位移傳感器是基于電容測(cè)微原理的非接觸式的位移測(cè)量系統(tǒng)。該電容位移傳感器由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。利用合適的控制器可測(cè)量?jī)蓚€(gè)電容板之間的距離,在1.25mm的行程中,分辨率可高達(dá)7pm。此外該位移傳感器具有很高的頻帶寬,可達(dá)到10KHz,線性度可達(dá)到0.02%。由于該電容位移傳感器為非接觸式精密測(cè)量系統(tǒng),因此具有零遲滯、低功耗等優(yōu)點(diǎn)。此外該系列的位移傳感器可有鋁合金和不脹鋼兩種材質(zhì)。



           


            




②AU-NZ系列位移傳感器的工作原理與AU-NZ系列的相同。它們的主要區(qū)別在工藝和材質(zhì)上不同。AU-NZ電容位移傳感器采用微晶陶瓷和張脹鋼材質(zhì),并且沒(méi)有粘合劑。這使其擁有熱穩(wěn)定性,適合低溫使用。






③大量程電容位移傳感器,主要包括AU-NCG-1-AL-UHV,該高分辨率位移傳感器為嚴(yán)苛環(huán)境條件下設(shè)計(jì),工作溫度范圍可以從-200℃到+150℃。采用鍍金陶瓷電容板,行程可達(dá)到11000微米,且分辨率可達(dá)到0.12微米。在極大的行程中仍然可以保持較好測(cè)直線性,線性度可達(dá)到0.4%。



主要特點(diǎn)
大行程(11mm)
高分辨率(0.1nm)
高熱穩(wěn)定性
高直線性(0.02%)
零遲滯
高頻帶寬度(10KHz)
低功耗
操作溫度范圍大(-200~+150℃)

 
主要應(yīng)用
   精密制造、計(jì)量、形變測(cè)量、平臺(tái)控制、材料測(cè)試、顯微鏡、能動(dòng)光學(xué)、精密光束控制等。



主要參數(shù)


型號(hào)

參數(shù)

AU-NX

AU-NZ

AU-NXB

AU-NXC

AU-NXD

AU-NZB

AU-NZC

AU-NZD

Active   areamm2

22.5

113

282

22.5   

113

282

Material   

Aluminium / Super Invar

Zerodur / Super Inva

Thermal drift   (nmK-1)

Aluminium    230

Super Invar  3

1.5

Short range-S(10pF)

Range

20mm

100mm

250mm

20mm

100mm

250mm

Noise

<0.001

<0.005

<0.013

<0.001

<0.005

<0.013

Linearity error(%)

<0.08

<0.05

<0.06

<0.08

<0.05

<0.06

Long range  –L (2pF)

Range(mm)

100

500

1250

100

500

1250

Noise

<0.015

<0.075

<0.188

<0.015

<0.075

<0.188

Linearity error(%)

<0.08   

<0.03

<0.06

<0.08   

<0.03

<0.06

Operating temperature

Controller

+10 to +50  

+10 to +50  

Sensor

-273 to +100 

-273 to +100 


          型號(hào)

參數(shù)

AU-NCG-1-AL-   UHV

Materials

Aluminium housing with gold plated   alumina (ceramic) sensors

Sensor range 

11mm

Position noise (rms)

120nm

Uncompensated linearity 

0.4%

Probe area

2500mm2

Operating temperature

-200 to +150 


 

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關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專(zhuān)業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類(lèi)激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國(guó)防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開(kāi)發(fā),軟件開(kāi)發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。

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