1.1.6英寸/8英寸/12英寸探針臺(tái)體

12卡盤XN軸平面無間隙氣學(xué)尖速移動(dòng)，移動(dòng)速率可調(diào)，單手控制,快速移動(dòng)行程:8英寸X8英寸，任意位置自動(dòng)鎖止，

探針臺(tái)

同時(shí)X/Y軸平面無間隙微調(diào)移動(dòng)行程:8英寸X8英寸，精度:1um13.卡盤Z軸無間隙升降移動(dòng)，行程:0~10mm，微調(diào)精度:1um1.4:探計(jì)平臺(tái)快速升降行程00.3/3.0mm并帶自動(dòng)鎖定功能

1.5探針平臺(tái)微調(diào)升降行程+25mm，微調(diào)精度:1um，升降高度可顯示

1.6.顯微鏡底座在X-Y軸平面內(nèi)微調(diào)移動(dòng)，行程:2英寸X2英寸，精度1微米

1.7.顯微鏡Z軸氣浮快速升降，行程0~50mm，升降速率可調(diào)18.高分辨顯微觀察系統(tǒng)，光學(xué)分辨率05um，配合2000萬像素高清工業(yè)相機(jī)和液晶顯示器，帶拍照、錄像和尺寸測(cè)量軟件

1.9.直流、脈沖、高壓、大電流、高頻深針均可配置。

21.6英寸/8英寸/12英寸高溫卡盤，同軸結(jié)構(gòu)，背柵電極測(cè)試，可兼容Banana、

BNC、SHV、TRIAX、HVTRIAX等測(cè)試接口

高溫卡盤

22溫度范圍:RT室溫~+400C

23.溫度分辨率: 01°℃

24.溫度穩(wěn)定性:±0.1°C

25.控溫方式:PD溫控器，比例微積分算法

3.1.電壓范圍:+1500V，+3000V，+5000V，+10KV

32電流范圍:+500A，+1500A

3

高低IV/CV儀表

33.電壓最小分辨率:200 UV

3.4.電流最小分辨率:10AA

3.5.多頻電容測(cè)量范圍:1kHzto5 MHz

4.1.人機(jī)交互界面多功能件;

測(cè)試軟件

42.,具備數(shù)據(jù)圖形化分析功能，具備輸出通道、測(cè)試通道、輸出類型、掃描模式,電壓/電流參數(shù)、掃描步長、輸出延遲、循環(huán)次數(shù)、接線方式設(shè)置功能;4.3.可實(shí)時(shí)測(cè)得V曲線、V曲線T、VT實(shí)時(shí)線線:

4.4.波波設(shè)置，對(duì)測(cè)量值取平均;

4.5.,手動(dòng)設(shè)管輸出和測(cè)量的量程范圍，也可設(shè)置自動(dòng)量程;

4.6,設(shè)置測(cè)量積分時(shí)間，控制從速率和精確度

4.7.通訊接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN;