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這套飛秒激光微加工平臺(tái)特別為飛秒激光微加工用戶(hù)而設(shè)計(jì)的納米級(jí)激光微加工平臺(tái)，廣泛適合主流的飛秒激光器和皮秒激光器，全面滿(mǎn)足科學(xué)家和工程師自我搭建激光微加工系統(tǒng)的要求, 已經(jīng)在美國(guó)和歐洲被科學(xué)家和激光微納設(shè)備制造商廣泛采購(gòu)使用。
這套激光微加工平臺(tái)采用微加工領(lǐng)域主流的花崗巖架構(gòu)，有效濾除振動(dòng)對(duì)微加工的影響，確保激光光束相對(duì)樣品表面保持的穩(wěn)定。
激光微加工平臺(tái)采用罕見(jiàn)的納米位移平臺(tái)為樣品提供定位，保持了的定位精度，可靠性和重復(fù)性。
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飛秒激光微加工平臺(tái)參數(shù)：
行程范圍：375mm x 200mm x 25(50)mm x 360° x 360°
分辨率：X,Y,Z=50nm,   θz/x =1.095arc sec
精度： X,Y,Z =+/-1um， θz/x =10arc sec
重復(fù)精度：X,Y,Z =0.75um， θz/x =3arc sec
正交性：X-Y-Z =3arc sec,  θz-θx =10arc sec
加速度：1G
行進(jìn)速度：500mm/sec
穩(wěn)定性：1nm

飛秒激光微加工平臺(tái)控制器部分
電壓：220VAC 專(zhuān)業(yè)為中國(guó)電力狀況而設(shè)計(jì)
電源：5/10Amp
五軸控制能力
接口：網(wǎng)線(xiàn)或USB