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供求商機(jī)

EMS300TD-雙濺射頭大腔室分子泵離子濺射鍍膜儀

  • 發(fā)布日期：
  • 有效日期：
  • 所 在 地：
  • 產(chǎn)　　地：
  • 已獲點擊：

  • 2025年3月11日
  • 2025年9月11日
  • 北京北京市
  • 美國
  • 384次

【產(chǎn)品簡介】

EMS300TD的腔室直徑達(dá)到300mm，高度127mm；雙頭設(shè)計，可連續(xù)濺射2種不同的金屬；全自動控制、渦輪分子泵，適合于薄膜應(yīng)用和SEM樣本導(dǎo)電鍍膜之需要


【詳細(xì)說明】

EMS300TD雙濺射頭大腔室分子泵離子濺射鍍膜儀
 
EMS300TD的腔室直徑達(dá)到300mm，高度127mm；雙頭設(shè)計，可連續(xù)濺射2種不同的金屬；全自動控制、渦輪分子泵，適合于薄膜應(yīng)用和SEM樣本導(dǎo)電鍍膜之需要。

  • 全自動觸摸屏控制，快速數(shù)字輸入，操作簡便
  • 雙濺射頭—可按照順序濺射兩種不同的金屬
  • 用戶自定義鍍膜方案
  • 靶材可選易氧化和不易氧化金屬
  • 優(yōu)秀的鍍膜顆粒適用于更的FE-SEM應(yīng)用
  • 大腔室（可選購加高腔室）
  • 鍍膜日志-記錄zui后100條鍍膜參數(shù)
  • 雙通道膜厚監(jiān)測可選
  • 高真空渦輪分子泵
  • 自動真空控制
  • 真空閉鎖功能
  • 60分鐘濺射不間斷濺射
  • 人體工程學(xué)設(shè)計的整體成型機(jī)殼：易維護(hù)和易拆裝
  • 帶有本地FTP服務(wù)器連接的以太網(wǎng)端口：簡單的程序更新
  • 設(shè)有功率因素補償，有效利用電能，降低運行成本
  • 符合當(dāng)前電器法規(guī)（CE認(rèn)證）
  • 3年質(zhì)保
· 工作腔室：283mm（內(nèi)徑）*127mm（高）硼硅酸鹽玻璃腔室，并帶整體安全防護(hù)罩
· 觸摸屏用戶界面：145 mm x 320 mm x 240 mm，帶有觸摸按鈕的全圖像界面，包含多達(dá)一百個鍍膜程序，可提醒何時需要維護(hù)
· 樣品臺：水平旋轉(zhuǎn)直徑102mm圓片
· 真空系統(tǒng)：皮拉尼真空計作為標(biāo)配（全量程真空計可以選購），極限真空可達(dá)10-5mbar
· 渦輪分子泵：帶有內(nèi)部空氣冷卻的渦輪分子泵，抽速為70L/s
· 旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵：抽速為50L/m的兩級旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵
· 工藝參數(shù)：
· 濺射：0-80mA。可預(yù)設(shè)膜厚（需FTM選項）或使用內(nèi)置定時器。
· 氣體：濺射工作氣體氬氣，99.999%；氮氣，放氣破真空氣體（可選）
· 電源需求：90-250V~50/60Hz 1400VA 包括旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵；尺寸：儀器機(jī)箱585mm寬*470mm*410mm高（總高710mm）
· 儀器總重量：36.6KG
· 濺射靶材和碳耗材供應(yīng)：直徑57 mm Ø x 0.3 mm的鉻靶（Cr）和57 mm Ø x 0.1 mm的金靶（Au）作為標(biāo)配。
貨號
產(chǎn)品名稱
規(guī)格
EMS300T D
Dual-Head, Large-Chamber-Turbo-Pumped Sputter Coater, supplied with 1 x 57 mm Ø x 0.3 mm chromium （Cr） and 1 x 57 mm Ø x 0.1 mm thick gold （Au） target. A flat rotation stage for 6” （152 mm） wafers is included.離子濺射鍍膜儀
EACH

    
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