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采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新,將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結果的準確度。這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產的儀器是法實現的。
采用了四探針雙位組合測量新，將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上，利用電流探針電壓探針的變換，在計算機控制下進行兩次電測量，把采集到的數據在計算機中加以分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和 機械游移等因素對測量結果的影響，然后以表格圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果；
參數：
適用晶片尺寸：2"～12"(配套探針臺)；
測量范圍 - 電阻率：10-5～105 Ω·cm(可擴展)
方塊電阻：10-4～106Ω/□(可擴展)
電導率：10-5～105s/cm；
電阻：10-5～105Ω；
可測晶片厚度：≤3.00mm
恒流源：電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，檔電流連續(xù)可調；
