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ULVAC 日本愛發(fā)科 多級羅茨型干式真空泵通過高溫領域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

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ULVAC 日本愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。采用ULVAC設計的轉子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。從大氣壓到極限壓力...

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