技術(shù)文章 山武氣體質(zhì)量流量控制器 閱讀：352 發(fā)布時間：2015-10-20 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050氣體質(zhì)量流量控制器CMQ系列是高機(jī)能型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，它使用了山武公司研制的感熱式微型流量傳感單元和比例電磁閥的先進(jìn)技術(shù)。因此CMQ是一種高性能、低成本的產(chǎn)品。CMQ具有響應(yīng)快、控制范圍寬的特點，能滿足多種工業(yè)控制要求。
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