原子熒光光譜儀是較新型X射線熒光光譜儀，具有重現(xiàn)性好，測量速度快，靈敏度高的特點。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。測量樣品的較大尺寸要求為直徑51毫米，高40毫米。
原子熒光光譜儀與原子吸收光譜儀的結(jié)構(gòu)與所用的部件基本相同,差別在于:
?、贋楸苊饧ぐl(fā)輻射進人檢測器影響原子熒光信號的檢測,原子熒光光譜儀的檢測器與激發(fā)光束不在同一直線上,通常成直角配置;
?、谠游展庾V分析是測量入射輻射光強與透射輻射光強的比值,而原子熒光光譜分析是直接測量與交光激發(fā)光源強度成正比的原子熒光強度,為③獲得較大的輻照立體角,許多原子熒光光譜儀不用分光部件。
原子熒光光譜譜線相對簡單，元素間譜線重疊較少，所以原子熒光光譜儀的光路系統(tǒng)通常較為簡單，當采用蒸氣發(fā)生法時，只有能形成氫化物及形成原子蒸氣的元素進入原子化區(qū)，可以采用非色散系統(tǒng)，因此儀器的光學系統(tǒng)簡單、結(jié)構(gòu)緊湊，易于實現(xiàn)商品化和小型化。
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