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技術(shù)文章

怎樣選擇合適的探針臺儀器

點擊次數(shù):162 發(fā)布時間:2025-4-26

一、?明確測試需求?

1.?樣品尺寸與類型?確定待測晶圓或器件的zui大尺寸(如2~12英寸)及是否需要測試破片或單顆芯片。

若涉及高壓、高頻或低溫測試,需選擇對應(yīng)專用探針臺(如高壓探針臺需匹配高電壓承受能力)。

2.?測試精度要求?關(guān)注探針臺的機械精度(如X/Y軸移動分辨率、重復(fù)性)和電學(xué)精度(如低至fA ji電流或0.1pF電容測試能力)。

3.?探針配置?根據(jù)電極尺寸(如60μm×60μm)選擇探針類型(直流、射頻、微波探針)及數(shù)量(*多可搭載6個探針臂)。

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怎樣選擇合適的探針臺儀器

二、?顯微鏡與光學(xué)需求?

1.?顯微鏡分辨率?需匹配測試需求,例如微小電極或IC內(nèi)部線路需高分辨率顯微鏡(如金相顯微鏡)。

2.?特殊光學(xué)功能?若需檢測液晶熱點(LC)或材料微觀結(jié)構(gòu),需支持偏光片或特殊光學(xué)模塊。

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三、?測試環(huán)境適配?

1.?溫度控制?根據(jù)需求選擇溫度范圍(如室溫、4K~800K真空環(huán)境),并確認(rèn)是否需要密閉腔體。

2.?磁場與真空?特殊測試(如量子器件)需磁場環(huán)境(永磁鐵或電磁鐵)或真空系統(tǒng)。

3.?高壓/大電流環(huán)境?高壓測試需專用探針臺(含高壓電源和保護措施),普通探針臺僅支持常規(guī)電參數(shù)測試。

四、?性能與兼容性?

1.?機械穩(wěn)定性?優(yōu)先選擇高精度傳感器、低振動設(shè)計及抗干擾能力強的設(shè)備。

2.?系統(tǒng)兼容性?確保探針臺與其他測試設(shè)備(如源表、示波器)的接口協(xié)議兼容,便于構(gòu)建完整測試系統(tǒng)。

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五、?品牌與服務(wù)支持?

1.?品牌信譽與性價比?優(yōu)先選擇國產(chǎn)zhi ming pin牌(兼具價格競爭力和技術(shù)實力),并通過客戶反饋評估實際性能。

2.?售后服務(wù)?考察廠商的技術(shù)支持響應(yīng)速度、備件供應(yīng)能力及培訓(xùn)服務(wù),確保chang期使用無憂。

六、?其他關(guān)鍵因素?

1.?實驗室條件?考慮設(shè)備尺寸與實驗室空間、電源接口等硬件條件匹配性。

2.?操作便捷性?選擇自動化程度高(如半自動/全自動)且操作界面友好的設(shè)備,減少人為誤差。

通過綜合以上維度,可系統(tǒng)評估探針臺的適用性,確保其滿足測試需求、環(huán)境適配及chang期使用穩(wěn)定性。







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