瑞士VAT 64.8 UHV型控制閘閥專為在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的濺射或 EUV 等應(yīng)用的超高真空過(guò)程中進(jìn)行可靠、精確的控制和隔離而設(shè)計(jì)。它滿足了耐用性、模塊化、密封性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求，特別關(guān)注高正常運(yùn)行時(shí)間和低擁有成本。
瑞士VAT 64.8 UHV型控制閘閥技術(shù)參數(shù)如下：
尺碼 DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10")
執(zhí)行器 帶閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的集成壓力控制器
機(jī)身材質(zhì) 不銹鋼
饋通 波紋管
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS
泄漏率閥體< 5 × 10 - 1 0 毫巴 ls - 1
閥座< 1 × 10 - 9 毫巴/秒- 1
壓力范圍DN 160– 200
DN 2501 × 10 -10 mbar 至 1.6 bar（絕壓）
1 × 10 -10 mbar 至 1.2 bar（絕壓）
澆口壓差DN 160– 200
DN 250≤ 1.6 巴
≤ 1.2 巴
開(kāi)啟壓差 ≤ 30 毫巴
循環(huán)直到第一次服務(wù)節(jié)流（打開(kāi) – 最大打開(kāi)）
隔離（打開(kāi) – 關(guān)閉 – 打開(kāi)）100 000
30 000
溫度閥體≤ 80°C
控制器最大限度。50°C（建議≤ 35°C）
材料閥體AISI 304 (1.4301)
機(jī)制AISI 316L (1.4404) (DN 160– 200)
AISI 304 (1.4301) (DN 250)
波紋管AISI 316L (1.4404, 1.4435)
海豹引擎蓋金屬
門(mén)FKM（氟橡膠®）
安裝位置 任何
閥位指示 視覺(jué)（機(jī)械和控制器）
瑞士VAT 64.8 UHV型控制閘閥配備了 VATLOCK 技術(shù)，可提供可靠的密封，而不會(huì)在板上產(chǎn)生任何摩擦。該板用作節(jié)流元件并改變閥門(mén)開(kāi)口的傳導(dǎo)性。機(jī)載壓力控制器計(jì)算所需的板位置以達(dá)到設(shè)定點(diǎn)壓力。步進(jìn)電機(jī)執(zhí)行驅(qū)動(dòng)。編碼器監(jiān)控板的位置。這確保了快速準(zhǔn)確的過(guò)程壓力控制。關(guān)閉位置的特殊 VATLOCK 登錄機(jī)制可確保防漏隔離與斷電時(shí)的故障安全關(guān)閉相結(jié)合。
超高真空性能是通過(guò)金屬閥蓋密封和波紋管密封饋通以及硫化板密封（可選 O 形圈）實(shí)現(xiàn)的。
瑞士VAT 64.8 UHV型控制閘閥已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)以千計(jì)的苛刻應(yīng)用中，證明了其出色的可靠性。憑借其堅(jiān)固的免潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，它滿足了高循環(huán)真空控制閘閥的所有要求。
東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開(kāi)關(guān)、離合器、過(guò)濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國(guó)美國(guó)有公司，廠家一手貨源，詳請(qǐng)致電。
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