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四探針電阻率測(cè)試儀DK32-KDY-4

DK32-KDY-4型四探針電阻率測(cè)試儀嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造，并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問(wèn)題加以改進(jìn)。整套儀器有如下特點(diǎn)：

1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表適時(shí)監(jiān)測(cè)全過(guò)程中的電流變化，使操作更簡(jiǎn)便，測(cè)量更。

數(shù)字電壓表量程：0—199.9mV 靈敏度：100μV 輸入阻抗：1000ΜΩ

基本誤差±（0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿(mǎn)度）

2、可測(cè)電阻率范圍：10—3 —1.9×103Ω·cm。

可測(cè)方塊電阻范圍：10—2 —1.9×104Ω/□。

3、設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí)，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí)，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。

4、流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定（萬(wàn)分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測(cè)量精度＜3%。

電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。

5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器（＞10萬(wàn)次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。

6、四探針頭采用上良好的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測(cè)量重復(fù)性提高