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概述

便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的及國家標準測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計。

它主要由電器測量部份（主機）及四探頭組成，需要時可加配測試架。

為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分先材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1～100Ω•cm標準樣片的測量瓿差不超過±3%，在此范圍內(nèi)達到國家標準一級機的水平。

測量范圍：

可測量 電阻率：0.01～199.9Ω•cm。

可測方塊電阻：0.1～1999Ω/口

當被測材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。

（2）恒流源：

輸出電流：DC 0.1mA～10mA分兩檔

10mA量程：0.1～1mA 連續(xù)可調(diào)

10mA量程：1mA ～10mA連續(xù)可調(diào)

恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%

適合測量各種厚度的硅片

（3） 直流數(shù)字電壓表

測量范圍：0～199.9mv

靈敏度：100μv

準確度：0.2%（±2個字）

（4） 供電電源：

AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W

（5） 使用環(huán)境：

相對濕度≤80%

（6） 重量、體積

重量：2.2 公斤

體積：寬210×高100×深240（mm）

(7)KD探針頭

壓痕直徑：30/50μm

間距：1.00mm

探針合力：8±1N

針材：TC