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[供應(yīng)]中國(guó)臺(tái)灣JOXTEC高精度烤膠機(jī)HP20/HP30/HP40/HP50

貨物所在地:上海上海市

產(chǎn)地:中國(guó)臺(tái)灣

更新時(shí)間:2025-05-26 06:52:58

有效期:2025年5月26日 -- 2025年8月24日

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中國(guó)臺(tái)灣JOXTEC高精度烤膠機(jī)HP20/HP30/HP40/HP50是控溫精度良好,較高的熱均勻性,簡(jiǎn)單實(shí)用型烤膠機(jī)。
導(dǎo)熱性能*的合金盤(pán)面
采用高精度溫度控制器,PID控制,解析度0.1℃
加熱元件的均勻排布

中國(guó)臺(tái)灣JOXTEC高精度烤膠機(jī)HP20/HP30/HP40/HP50

光刻膠烘焙裝備的選擇
  光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要構(gòu)成部門(mén)。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序,為增長(zhǎng)膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度,通常接納烘箱或者加熱板等加熱裝備對(duì)光刻膠舉行干燥。烘箱加熱由于速率慢、且加熱易造成表面以及內(nèi)部受熱不均勻,效驗(yàn)欠佳!而熱板易于到達(dá)在膠的厚度標(biāo)的目的且快速均勻烘焙等要求,今朝越來(lái)越多地接納熱板加熱的方式。
  所以烤膠機(jī)的表面溫度均勻性、溫度控制精疏密程度、溫度上升速率等是選擇烤膠機(jī)的首要性能指標(biāo)思量。

采用高精度溫度控制器,PID控制,解析度0.1

14bit的A/D轉(zhuǎn)換分辨率,0.2%FS的顯示精度,取樣時(shí)間250ms,可手動(dòng)補(bǔ)償PV顯示值(PVOS)。內(nèi)建Autozero-Autospan功能,自動(dòng)校正零點(diǎn)及斜率,使顯示精度不因長(zhǎng)時(shí)間而劣化。


自動(dòng)演算(AT):使用自動(dòng)演算功能,可自動(dòng)算出系統(tǒng)的PID參數(shù)數(shù)值。當(dāng)自動(dòng)演算進(jìn)行中,PV會(huì)上下震動(dòng)1~2個(gè)周期。為保護(hù)使用者的設(shè)備??稍O(shè)定自動(dòng)演算偏移量(ATVL),使PV在數(shù)值較低處震蕩,有效避免沖溫效應(yīng)。

導(dǎo)熱性能的合金盤(pán)面

經(jīng)過(guò)多次實(shí)驗(yàn)和測(cè)試,公司研發(fā)出導(dǎo)熱性能且具有較高強(qiáng)度的合金盤(pán)面。保證了盤(pán)面加熱溫度的均勻性。并且長(zhǎng)時(shí)間使用不會(huì)變形,平整如初!

 

加熱元件的均勻排布

公司利用有限元熱分析方法對(duì)加熱板盤(pán)面溫度均勻性進(jìn)行了分析,經(jīng)多次模擬分析和調(diào)整,加熱結(jié)構(gòu),優(yōu)化設(shè)計(jì)出了滿足加熱板盤(pán)面溫度均勻性可達(dá)*要求的加熱元件排布方式,并以此為主要依據(jù)完成了整體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。目前加熱板升溫速度快,盤(pán)面溫度均勻,加熱元件耐用。

 

HP系列烤膠機(jī)被設(shè)計(jì)為控溫精度良好,較高的熱均勻性,簡(jiǎn)單實(shí)用型烤膠機(jī)。

HP烤膠機(jī)升溫速度快,由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制,長(zhǎng)壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱,高硬度、耐腐蝕的陽(yáng)極氧化鋁面板。

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復(fù)性好??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

產(chǎn)品特性:

  • 可同時(shí)顯示設(shè)定溫度與實(shí)際溫度
  • 板面采用鋁合金一體成型,導(dǎo)熱率良好,加熱絕不變形。
  • 陽(yáng)極硬質(zhì)氧化鋁面板及噴砂處理,具有量好的耐磨、耐酸堿特性。
  • 外殼為不銹鋼材質(zhì)制成
  • 溫度控制:高精度微電腦PID自動(dòng)控制,LED數(shù)字顯示。
  • 溫度范圍:室溫~300℃ 盤(pán)面均勻度佳。
  • 可溫度校正,保證顯示溫度與實(shí)際溫度的*性。

8、真空吸附機(jī)型HPV系列

 

產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格:

 

HP15

HP20

HP30

HP40

HP60

溫度范圍

300 ℃(其他溫度定制)

外觀尺寸(WxLxH)

150x150x140mm

200x200x140mm

300x300x140mm

400x400x150mm

300x600x130mm

電熱

700W

800W

1500W

3000W

3000W

電壓

220V

220V

220V

220V

220V

電流

3A

4A

7A

15A

15A

溫度控制穩(wěn)定度

溫度分辨率 0.1

控溫精度±0.2℃

溫度均勻性±1.5%

附件

1、 附計(jì)時(shí)功能 99小時(shí)59分(選配)

2、 程序控溫

中國(guó)臺(tái)灣JOXTEC高精度烤膠機(jī)HP20/HP30/HP40/HP50

典型用戶:

宏力半導(dǎo)體、恒諾微電子、信泰光電、統(tǒng)寶光電、風(fēng)華、TDK CO., LTD、辰田半導(dǎo)體、上海交大微納院

復(fù)旦大學(xué)微電子系、世紀(jì)晶源科技有限公司、富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)、*長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所

上海*表面等離子光學(xué)實(shí)驗(yàn)室等等

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