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REXROTH HM20-23/400-C-K35-N壓力傳感器工作原理
閱讀：83 發(fā)布時間：2025-5-21REXROTH HM20-23/400-C-K35-N壓力傳感器基于半導體薄膜應(yīng)變技術(shù)與電橋信號轉(zhuǎn)換原理實現(xiàn)壓力測量，其核心工作原理可分為以下三個層級：
一、物理感知層：薄膜應(yīng)變效應(yīng)
傳感器采用不銹鋼薄膜測量單元，表面沉積高精度半導體應(yīng)變片。當外部壓力作用于薄膜時，薄膜產(chǎn)生微米級形變，導致應(yīng)變片電阻值發(fā)生規(guī)律性變化。這一過程遵循壓阻效應(yīng)：
公式表達：ΔR/R = K·ε
其中，ΔR為電阻變化量，R為原始電阻，K為壓阻系數(shù)（半導體材料典型值100-200），ε為薄膜應(yīng)變值。
技術(shù)優(yōu)勢：薄膜厚度僅0.1-0.2mm，響應(yīng)時間<1ms，可捕捉液壓系統(tǒng)中的瞬態(tài)壓力波動。
二、信號轉(zhuǎn)換層：惠斯通電橋
四個應(yīng)變片組成全橋電路，將電阻變化轉(zhuǎn)化為電壓信號：
無壓力狀態(tài)：電橋平衡，輸出電壓U?=0。
受壓狀態(tài)：薄膜形變導致電橋失衡，輸出電壓U?與壓力P呈線性關(guān)系：
U? = (K·ε·U_ex)/4
其中，U_ex為激勵電壓（通常5-10VDC）。
溫度補償：內(nèi)置NTC熱敏電阻，通過零點溫度補償算法消除環(huán)境溫度對測量的影響，確保-40°C至85°C范圍內(nèi)精度衰減<0.1%。
三、輸出與校準層：線性化處理
原始電壓信號經(jīng)放大電路與A/D轉(zhuǎn)換后，輸出兩種工業(yè)標準信號：
電流型（4-20mA）：
抗電磁干擾能力強，適用于長距離傳輸（如PLC控制回路）。
4mA對應(yīng)0bar，20mA對應(yīng)400bar，故障時電流歸零。
電壓型（0-10V）：
分辨率更高，適合短距離精密控制（如伺服閥調(diào)節(jié)）。
通過六點校準法在工廠預置線性化曲線，非線性誤差<±0.5%。
四、環(huán)境適應(yīng)性設(shè)計
耐壓結(jié)構(gòu)：
薄膜與焊接接點采用激光焊接工藝，耐壓能力達1.5倍額定值（600bar瞬時過載）。
內(nèi)部填充硅油，壓力傳遞無遲滯。
防護等級：
IP67防護：外殼采用PBT+30%玻纖材料，耐鹽霧腐蝕，適應(yīng)船舶、露天設(shè)備等場景。
EMI屏蔽：四層鍍鎳屏蔽層，抑制10V/m以上電磁干擾。
五、典型應(yīng)用場景解析
以注塑機合模力控制為例：
傳感器監(jiān)測油缸壓力，輸出4-20mA信號至PLC。
PLC通過PID算法調(diào)整比例閥開度，將合模力控制在±0.5%誤差范圍內(nèi)。
在200°C熔膠溫度下，傳感器仍能保持0.3%的測量精度，確保制品飛邊率<0.1%。
