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高溫爐
閱讀：1898 發(fā)布時間：2013-4-12
一、高溫爐產(chǎn)品特性
- 自然空氣隔熱式，輕巧易搬運。
- 升溫速度快，0-30℃/min可以自由設(shè)定。
- 爐內(nèi)兩面輻射方式加熱，溫度分布均勻。
- 溫度控制:PID自動控制LED數(shù)字顯示。
- 保溫：進口耐高溫陶瓷棉保溫及陶瓷板、巖棉三重保溫。
- 加熱器：瑞典進口KANTHAL加熱器，耐用、升溫穩(wěn)定、加熱速度快。
- 內(nèi)部采用耐高溫陶瓷板，不易變形，外部采用鍍鋅加高溫烤漆美觀，不易掉漆。
二、高溫爐操作規(guī)程1 準(zhǔn)備工作a,檢查電源線接觸是否良好b,檢查連接線是否正常c,檢查冷卻水是否正常d,檢查密封性是否正常e, 準(zhǔn)備所需工具：無塵紙、*、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤2 開爐a,打開主電源開關(guān)b, 向爐體充氬氣至大氣壓，打開爐體前門，取下石墨蓋板c, 將輸送車開關(guān)打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕，取出 。石墨坩堝，依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).d, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物3裝料a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。b、拔出限位桿，輸送車開關(guān)打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并確定輸送車會到初始位置。c、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門4 抽氣a、檢查爐門是否關(guān)緊，真空系統(tǒng)是否密封b、置 DP 按鈕于 DP ON，打開干式真空泵，打開真空計開關(guān) P1G1，打開干式真空泵 。閥門，開始抽氣測試泄漏率，c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門（非真空泵）露鋁≤1Pa/min，打開氬氣閥門充氬氣（20L/min）。- 加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN，開始工藝加熱。
- 冷卻
a、加熱結(jié)束后，按工藝條件進行冷卻；
三、高溫爐注意事項- 除了做實驗外，不要停留在管區(qū)。
- 實驗工作完畢時，若無人繼續(xù)使用，請關(guān)特殊氣體，保留N2流動， 爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)，如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關(guān)掉。
- 處理HF時，請戴手套，如不小心碰到HF時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。
- 石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴重割傷。
- 避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
- 氰化鉀（KCN）不可與酸類混置，因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
- 一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時，請立即通知有關(guān)人員（技術(shù)員等）。
- 請節(jié)約純水用量。
- 破晶片、濾紙、棉花棒.......等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。
- 長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染。
- 晶片進出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。
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