塵埃粒子計數(shù)器是用于測量潔凈環(huán)境中單位體積內塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它廣泛應用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監(jiān)督所等機構、電子行業(yè)、制藥車間、半導體、光學或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗所等生產企業(yè)和科研部門。
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一． 校正所需設備
1． 100級潔凈房或潔凈臺
2． 一臺用于作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數(shù)器，如Royco323
3． 各粒徑的標準粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等
4． 標準粒子氣體產生器，如Model 255
5． 產生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類似裝置
6． 其它普通電器，如220V電源插座，萬用表等等
二． 校正的基本原理
標準粒子（如0.301um）通過255粒子產生器由液狀霧化成氣體，并由其內置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內，認為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器，一要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測試結果。
三. 校正的基本步驟：
現(xiàn)假設對一臺常見的Royco HH200作校正
1． 先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Royco HH200則為0.1CFM。
2． 先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預熱半小時。
3． 準備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
4． 將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。
5． 設置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
（1）取樣時間都設置為00：01：00
（2）取樣次數(shù)都設置03
（3）取樣模式都設置為Auto
（4）間隔時間都設置為00：00：05
（5）讀數(shù)模式都設置為Cumulative
注：以上設置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結果會是Royco HH200的10倍。
6． 此時，打開255電源，調節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約60SCFH時后，保持其工作狀態(tài)。
7． 此時，讓Royco 323和Royco HH200同時工作，看其三次的平均結果，若在20%以內，視為合格。
8． 拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。
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