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布魯克Bruker平面內(nèi)電流隧道系統(tǒng)SmartProber-P1

——用于企業(yè)研發(fā)和故障分析中 300mm 晶圓應(yīng)用的電動系統(tǒng)

·高垂直面

磁場

·可配置

設(shè)計和選項

·全晶圓覆蓋

高達(dá) 300 毫米

·0.1-100 kΩμm2

RA 范圍

這種類型的 SmartProber 有多種配置可供選擇。如果需要高垂直場，但只需要測量小樣品，則可以用更便宜的手動載物臺代替自動晶圓載物臺。

SP-P1 – 6kOe 磁體，300mm 旋轉(zhuǎn)晶圓臺
配置選項：
C：附加場強(qiáng)為 2kOe 的面內(nèi)磁體模塊
Y：200mm XY 晶圓臺
M：用于小樣品的手動晶圓臺
L：10kOe 磁體

布魯克Bruker平面內(nèi)電流隧道系統(tǒng)SmartProber-P1