激光光譜原位分析儀(LIBSOPA-100)是激光誘導擊穿光譜分析技術（LIBS）和原位統(tǒng)計分布分析技術（OPA）結合的新型分析儀器。激光誘導擊穿光譜原位統(tǒng)計分布分析技術(LIBSOPA)通過高能激光聚焦于樣品表面，樣品被擊穿形成高溫等離子體，通過檢測等離子體光譜信號，獲得樣品的成分及元素分布信息的技術。

其分析原理是：樣品表面被高能激光擊穿形成等離子體，等離子體光線經(jīng)過濾波,分光之后被多通道的光電倍增管檢測系統(tǒng)檢測。根據(jù)光譜特征譜線波長得出被擊穿位點的元素種類;定標后對應譜線的強度表示被擊穿位點元素的濃度。借助精密三維移動平臺在樣品激發(fā)表面很好的定位和記錄，實現(xiàn)任意點掃描，一維線性掃描，一維深度分析和二維面掃描分析，并據(jù)此獲得與材料原位置相對應的各元素原始含量及狀態(tài)信息，可以用統(tǒng)計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。

該方法不但有激光光譜的非接觸分析，微區(qū)分析，深度分析的優(yōu)點，又具備原位統(tǒng)計分布分析技術的原位性和統(tǒng)計性。LIBSOPA-100的研制成功為材料成分分析，缺陷分析，涂鍍層等樣品的分析應用提供了新的技術手段及質量判據(jù)。