油擴(kuò)散泵
ULK 系列

ULVAC的ULK型油擴(kuò)散泵運(yùn)用了長(zhǎng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗(yàn)所設(shè)計(jì)而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛(ài)發(fā)科油擴(kuò)散真空泵  ULK 系列維修保養(yǎng)?

特點(diǎn)

• 設(shè)計(jì)為高臨界背壓。
• 單臺(tái)可以抽到?10^-2 Pa (10^-4 torr)，性能非常穩(wěn)定。
• 採(cǎi)用了羅茨法蘭口。(除了ULK-04A、06A)
• 清潔非常方便。(部品的分解也非常簡(jiǎn)單)
• 具備輔助泵側(cè)的油液反流防止機(jī)構(gòu)日本愛(ài)發(fā)科油擴(kuò)散真空泵  ULK 系列維修保養(yǎng)?
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