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高頻光電導(dǎo)少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測(cè)量,除需要有一個(gè)測(cè)量平面外,對(duì)樣塊體形嚴(yán)格要求,可測(cè)塊狀和片狀單晶壽命。壽命測(cè)量可靈敏地反映單晶體內(nèi)金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況,是單晶質(zhì)的重要檢測(cè)項(xiàng)目。
子壽命測(cè)定儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
高頻光電導(dǎo)少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀儀器采用GB/T1553-1997中硅單晶少數(shù)載流子壽命測(cè)定高頻光電導(dǎo)衰減法,主于測(cè)量高阻長(zhǎng)壽命單晶,現(xiàn)在已經(jīng)在半導(dǎo)體材料有限公司、研究所、峨嵋半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體材料有限公司等投入使用。
少子壽命測(cè)定儀參數(shù):
測(cè)試單晶電阻率范圍:ρ﹥2Ω•cm
可測(cè)單晶少子壽命范圍:5μs~10000μs
紅外光源配置: 波長(zhǎng)1.06~1.09μm
儀器測(cè)量重復(fù)誤差:﹤±25%
測(cè)量方式:采用數(shù)字示波器直接讀數(shù)方式
消耗功率:﹤50W
工作條件:
溫 度:10-35℃
濕 度:﹤65%
使用電源:AC220V 50HZ(建議配置穩(wěn)壓電源)
可測(cè)單晶尺寸:
斷面豎測(cè):
直 徑:25mm-150mm
厚 度:2mm-500mm
縱向臥測(cè):
直 徑:5mm-20mm
長(zhǎng) 度:50mm-800mm
高頻振蕩源:用石英諧振器,振蕩頻率30MHZ
前置放大器,放大倍數(shù)約25,頻寬2HZ-2MHZ
可根據(jù)已知壽命樣品調(diào)校測(cè)量壽命值,可調(diào)范圍廣
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