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極紫外 （EUV） 球面反射鏡

超拋光基片上的鉬/硅多層鍍膜

13.5nm 下可實(shí)現(xiàn)的大反射

設(shè)計(jì)用于 EUV 光束聚焦應(yīng)用

適用于 HHG 應(yīng)用的窄通帶

極紫外 （EUV） 球面反射鏡 具有多層鉬/硅鍍膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專為 5o 入射角設(shè)計(jì)，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS，可大程度地降低散射。這對(duì) EUV 波長(zhǎng)*，因?yàn)?EUV 波長(zhǎng)的散射比長(zhǎng)波長(zhǎng)更多. EUV 球面反射鏡的通帶非常窄，約為 0.5nm，確保只會(huì)在高諧波生成 (HHG) 應(yīng)用中反射 13.5nm 的關(guān)注諧波。EUV  球面反射鏡的典型應(yīng)用包括相干衍射成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 納米加工.

注意:
每個(gè)反射鏡均附運(yùn)行樣本的測(cè)試數(shù)據(jù).

極紫外 （EUV） 球面反射鏡產(chǎn)品信息