形貌儀的分類(lèi)與特點(diǎn)有哪些?
其實(shí),二者不難區(qū)分,簡(jiǎn)單可以理解為雙模式三維表面形貌儀是在白光干涉形貌儀的基礎(chǔ)上的一種升級(jí)。
首先,從掃描模式上,白光干涉形貌儀間距PSI與VSI的模式,而雙模式三維表面形貌儀除了能做到這點(diǎn)之外,利用旋轉(zhuǎn)盤(pán)共焦技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)快速垂直掃描。
其次,雙模式三維表面形貌儀有著出色的穩(wěn)定性,無(wú)論是機(jī)器本身,或是測(cè)試出的參數(shù)、偏差值等等方面,雙模式三維表面都比白光干涉要穩(wěn)定。
雙模式三維表面形貌儀除了兼?zhèn)浒坠飧缮娴乃行阅芤酝?,還有一個(gè)明顯優(yōu)勢(shì),那就是它具有光學(xué)形貌上高的橫向分辨率,空間下樣調(diào)整之后,甚至可以達(dá)到0.05um,在形貌測(cè)量以及測(cè)試物體表面特征的佳配置。
以上就是二者的區(qū)別所在啦,看過(guò)之后不知道對(duì)您有沒(méi)有幫助。其實(shí),二者不能說(shuō)誰(shuí)優(yōu)誰(shuí)劣,在購(gòu)買(mǎi)時(shí),只要挑選出適合自己的形貌儀就好。