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AMC在線監(jiān)測離子遷移譜

EDK 4500

AMC在線監(jiān)測離子遷移譜技術(shù)具有靈敏度高（ppb范圍）、響應速度快（毫秒范圍）、結(jié)構(gòu)緊湊、可在大氣壓下操作以及能分離異構(gòu)體等優(yōu)點。在這篇簡短的報告中，我們展示了使用IMS檢測氯化氫（HCl）和氟化氫（HF）的靈敏度和快速響應。

關(guān)鍵詞：離子遷移譜IMS，總酸銨根監(jiān)測，磷酸根檢測，AMC在線監(jiān)測，痕量氯化氫氟化氫監(jiān)測

HCl和HF是摩爾質(zhì)量為36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。鹽酸和氫氟酸是醫(yī)藥、高分子、石油化工等工業(yè)中的重要化合物。這兩種化學物質(zhì)在半導體工業(yè)中也很重要。在許多半導體應用中，需要在低ppb水平下監(jiān)測HCl和HF的存在。