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XPS(X射線光電子能譜儀)丨一鍵模板套用,深度剖析數(shù)據(jù)批量分析So easy!

閱讀:352        發(fā)布時(shí)間:2023-11-1
 

導(dǎo)讀

近年來(lái),隨著我國(guó)材料、能源、微電子等領(lǐng)域的迅猛發(fā)展,表面科學(xué)已成為活躍的研究領(lǐng)域之一。X射線光電子能譜(XPS)技術(shù)作為一種常見的表面分析技術(shù),在鑒定材料表面的化學(xué)性質(zhì)與組成方面具備獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。舉個(gè)例子,金屬表面通常都存在氧化膜,氧化膜的厚度與分布,隨氧化時(shí)間與環(huán)境而不同,探明氧化膜的情況對(duì)了解金屬表面狀態(tài)至關(guān)重要。XPS深度剖析功能可以獲得樣品更深層次的信息,使用戶可以對(duì)樣品有更全面的了解。

 

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島津ESCApe軟件可以很方便地對(duì)深度剖析數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,得到元素和化學(xué)態(tài)隨深度的分布情況。今天,我們以案例的形式,介紹一個(gè)Ta2O5薄膜樣品(在金屬Ta表面有一定厚度的氧化膜),通過(guò)單氬離子進(jìn)行15×20 s的刻蝕(單次刻蝕時(shí)間20 s,總刻蝕次數(shù)15次),如何通過(guò)一鍵模板套用,深度剖析分析元素隨深度的變化,如何進(jìn)行批量分析數(shù)據(jù)處理,一起來(lái)看看分析過(guò)程吧?。ㄎ哪└酵暾僮饕曨l哦~)

 

方法詳情

 

批量荷電校正

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批量添加本底

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批量擬合

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定量計(jì)算

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數(shù)據(jù)導(dǎo)出

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下面視頻記錄了本次案例的完整操作過(guò)程,歡迎觀看!

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