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ULTRAlign™ 精密 XYZ 定位平移臺
562 系列 ULTRAlign™ 線性平移臺是 3 軸平移臺，配有水平安裝平臺，可實現(xiàn)you秀的長期穩(wěn)定性和較高的載重能力。交叉滾子軸承和精密制造的軸承表面，可在確保偏差小于 100 µrad 的情況下進行線性平移。

• 具有較大水平平臺的 XYZ 位移臺
• 不銹鋼體提供剛性支撐，載重能力高達(dá) 35 磅
• 每個軸具有 13 mm 的行程，均經(jīng)過單獨測試并可保證偏差 < 100 µrad
• 硬化鋼的交叉滾子軸承可用于高剛性和精密的運動
• 左側(cè)和右側(cè)配置

ULTRAlign™ 精密 XYZ 定位平移臺特征

預(yù)裝的交叉滾子軸承

預(yù)裝的交叉滾子軸承提供可重復(fù)的零粘滑線性運動、可忽略不計的側(cè)向游隙。滾輪條使圓柱形滾輪保持交替傾斜 90°，以確保與硬化和接地路線的恒定線性接觸。

用于對準(zhǔn)的大負(fù)載位移臺

562 系列 ULTRAlign™ 線性位移臺由 3 軸不銹鋼位移臺構(gòu)成，構(gòu)造堅固，具有更強的負(fù)載能力（高達(dá) 35 磅）。堅固的設(shè)計和更高的質(zhì)量也使它們非常適合于使用度高的工業(yè)制造和研究應(yīng)用，同時具有更強的熱穩(wěn)定性。交叉滾子軸承和精密加工的軸承表面（類似于 461 ULTRAlign 系列）保證了沿軸運動的平滑，并且較大直徑軸承增加了位移臺的剛度。使用六軸干涉儀進行校驗以獲得優(yōu)異的線性行程（任何軸的角偏差均小于 100 µrad），確保實現(xiàn)*的精度。每個位移臺的軸都配有零干擾鎖定機制，以保證在鎖定或解鎖時維持亞微米級的定位精度。

全不銹鋼結(jié)構(gòu)