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SC100-SR-分體式勻膠機(jī)
  • SC100-SR-分體式勻膠機(jī)
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貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-01-06 21:00:07

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SC100-SR精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

產(chǎn)品介紹:


 

名   稱:高精密勻膠機(jī)

型   號:SC100-SR

原產(chǎn)地:

應(yīng)    用:SC100-SR精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

 

 

產(chǎn)品概述:

 


 

SC100-SR精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
  SC100-SR是一種主機(jī)和觸摸屏分開的分體式勻膠機(jī),主機(jī)被設(shè)計為更小安裝尺寸或臺面嵌入式安裝來降低操作高度。SC100-SR可與手套箱配套進(jìn)行嵌入式安裝,控制盒放置在臺面上方便移動。

 

性能參數(shù):


 

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔) 

l  旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個步驟可到0.1 

l  轉(zhuǎn)動速度:0-10,000rpm(更高速可選) 

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載) 

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm 

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm

l  重復(fù)性< 1rpm 

l  工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step

l  時間設(shè)置精度:0.1sec 

l  支持wafer尺寸1cm-200mm8”圓晶) 

l  旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)

 

產(chǎn)品特點(diǎn):


 

l  新的內(nèi)部緊湊設(shè)計,縮小了設(shè)備的尺寸。

l  可進(jìn)行嵌入式安裝,降低操作高度。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。 

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。 

l  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

l  采用工業(yè)級別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。 

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,不會生銹,便于清洗。 

l  透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

 

 

 

產(chǎn)品外型尺寸:
       306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H)

 

 

 

 

咨詢或索取詳細(xì)產(chǎn)品資料,請聯(lián)系ANALYSIS(安賽斯)工作人員。

統(tǒng)一客服:4008816976

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