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真空爐常用的真空系統(tǒng)有幾種
真空爐處理爐的真空系統(tǒng)的三個基本要求：
1)能迅速地將真空熱處理爐的真空度抽到規(guī)定的要求。
2)能及時排出被處理工件和爐內(nèi)構(gòu)件所釋放出的各種氣體，以及因真空泄漏而滲入爐體內(nèi)的氣體。
3)真空機(jī)組占地面積小，運(yùn)行安全可靠，操作簡便。
真空系統(tǒng)的組成
真空熱處理爐的真空系統(tǒng)通常由真空獲得設(shè)備(真空泵機(jī)組)、控制真空組件和測量真空組件所組成。
1)真空泵機(jī)組。根據(jù)爐子工作壓力和抽氣量的大小，分別選配不同的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。
2)真空組件或元件。在真空爐體和真空泵機(jī)組之間配備的各種真空組件或真字元件，如管路、密封圈、法蘭、波紋管、冷阱、過濾器和閥門等。

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3)真空測量系統(tǒng)，如真空規(guī)管、真空壓力表和其他真空測量儀表。
4)真空檢漏儀器、真空控制儀器、充氣裝置等。
真空爐品種多，對真空系統(tǒng)的要求不一樣。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系統(tǒng)。下面介紹幾種常用的真空系統(tǒng)。
1．低真空系統(tǒng)   
低真空系統(tǒng)適用于真空度在2～1333Pa范圍的真空熱處理爐，如預(yù)抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵為主泵。
2．中真空系統(tǒng)
中真空系統(tǒng)適用于真空度在3 X10～～1．333Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統(tǒng)在真空熱處理爐中應(yīng)用廣泛，其通常由兩級真空泵機(jī)組組成。初級泵多采用旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或滑閥式機(jī)械泵，主泵為機(jī)械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵
3．高真空系統(tǒng)
高真空系統(tǒng)適用于真空度在6．6×10～～1．333 X 10。Pa范圍的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐，通常由三級真空泵機(jī)組組成，主泵通常采用油擴(kuò)散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵或滑閥式機(jī)械泵。